Применение продукции:

Подходит для хранения кремниевых пластин и кристаллических коробок в процессе изготовления монокристаллического кремния на передней части полупроводника, чтобы предотвратить возврат частиц кремния, явление возврата тумана; Поскольку обычные сухие или азотные шкафы предназначены для полностью закрытой среды и не имеют функции самоочищения, внутри легко накапливается большое количество пыли, которая, скорее всего, прилипает к предметам хранения. Чистые шкафы подходят для хранения предметов, которые должны быть защищены от пыли.

Характеристики продукции:

* 4 - дюймовая сверхсветовая цифровая трубка, видимое расстояние 30 метров, может быть установлена система контроля экономии азота, может быть установлена система сигнализацииА.

* Безпыльный вентилятор - используется импортный вентилятор FFU без пыли, материал из алюминиево - цинковой пластины, лопасти из алюминиевого сплава, скорость ветра 0,3 - 0,45 м / с, шум < = 55 дБА.

Двусторонний высокоэффективный фильтр защитной сети - эффективность фильтрации 99,99% @ 0.3um.

Модульный дизайн.，Мониторы температуры и влажности, системы управления, системы пылеулавливания и электростатические системы могут быть быстро заменены, техническое обслуживание и ремонт просты, что значительно повышает эффективность обслуживания.

Технические параметры:

материалА.Двойное зеркало304нержавеющая сталь

Внешний размер:1300W * 1836H * 800Dmm

Внутренний размер:1253W * 1110H * 650Dmm

Класс осушения: Относительная влажность может достигать5% РХНиже (с азотным наполнением)

Класс чистоты:Класс ISO 2(Сто уровней)Класс ISO 3(В тыс. чел.)

Диапазон отображения влажности:0,1% RH-99,9% RH

Диапазон отображения влажности:-40℃-70.0℃(-9.9℃Ниже показано без десятичных знаков)

Точность монитора температуры и влажности: Относительная влажность±3%РхТемпература,±1℃