-
Электронная почта
huijuan_sun@bct-tech.com
-
Телефон
18610719775
-
Адрес
Пекинский район Шуньи, промышленный район B, улица Аньцин, дом 6, дом 1
Решение
Beijing Boside Technology Co., Ltd
Общий обзор программы
Благодаря требованиям искусственного интеллекта и высокоэффективных вычислений, благодаря разработке технологии полупроводниковых материалов и гранул ядра четвертого поколения, ширина линии чипа быстро перешла от 70 нм к эпохе ниже 7 нм. Важность обнаружения следов газообразных молекулярных загрязнителей (AMC) в производственных процессах ниже 30 нм возросла до очень важных высот.
Точность следов мониторинга AMC, всесторонний мониторинг, автоматический анализ больших данных и внедрение концепции интеллектуального управления AI играют решающую роль в снижении воздействия AMC на хорошие скорости.
Beijing Bosaide Technology Co., Ltd. самостоятельно разработала и произвела серию BCT - AMC, полупроводниковую технологическую систему мониторинга окружающей среды, охватывающую онлайн - мониторинг, лабораторный анализ, анализ отслеживания на месте и многие другие сценарии, более точный полный количественный анализ видов органических веществ, высокую степень автоматизации и интеграции аналитического процесса, в сочетании со специальной базой данных загрязнения AMC и библиотекой решений по удалению, при поддержке технологии AI, чтобы действительно решить практические проблемы Департамента по контролю за продуктами и Департамента по контролю за микрозагрязнением.
Типичная сцена.
Точка обработки - онлайн - автоматизированная система точного анализа AMC (VOCS)
Онлайновый мониторинг пунктов производственного контроля:
• Использование ультрачистых пробоотборных труб ПФА для размещения на территории завода, диапазон мониторинга до 35000 м2 ~ 75000 м2
• Автоматический отбор проб, обогащение, анализ GC - MS, облачное хранение, автоматическая генерация отчетов об обнаружении ИИ с функцией сверхпороговой сигнализации
• Автоматизированный мониторинг 7×24 часов
• Инерционное покрытие всего процесса во избежание остаточного и адсорбционного покрытия
• Специальные системы улавливания и системы фокусировки, значительно улучшившие линии обнаружения, более острые пики
Подозрительная точка - лабораторная система точного анализа AMC (VOCs)
Лабораторный анализ ручной выборки подозрительных точек:
• Система используется в лаборатории, на основе сильной способности улавливания, сильной способности к удалению примесей, сильной антиадсорбционной способности, высокой точности ввода проб, специальных газовых путей, полного процесса без точки охлаждения, очистки очень чистой и других характеристик, совместного действия, чтобы получить более низкий предел обнаружения
• Количественный анализ неизвестных компонентов: система может проводить полный анализ образцов вещества
• Пакет методов обнаружения веществ AMC (VOCs), разработанный специально для полупроводниковых предприятий
• Обнаружение с высокой своевременностью: быстрое качественное количественное загрязнение загрязняющих веществ, своевременное обнаружение источников загрязнения AMC (VOCs)
Цилиндритная кварцевая нагревательная печь с подогревом испаряющегося образца:
• Пакет методов обнаружения веществ AMC (VOCs), разработанный специально для полупроводниковых предприятий
• Обнаружение с высокой своевременностью: быстрое качественное количественное загрязнение загрязняющих веществ, своевременное обнаружение источников загрязнения AMC (VOCs)
Рабочий стол - портативная система точного анализа AMC (VOCS)
Рабочий стол - анализ источников загрязнения:
• Быстрый анализ
Одномасс - спектральный режим ходьбы, прибор без хроматографической колонны непосредственно в масс - спектрометрию, секундный анализ, выдача данных в режиме реального времени.
• Высокая чувствительность
Целенаправленная прослеживаемость, более высокая чувствительность: одномасс - спектральный режим, секундная реакция, динамическое отображение загрязнения в режиме реального времени, при необходимости, фильтрация ионов с использованием SIM - режима для целевого плавания.
Технология мембранного пробоотбора позволяет вторично обогащать образцы перед входом в масс - спектрометрию и повышать чувствительность.
• Точность прослеживаемости
Новый режим похода, глубоко в цех, прямо к источнику
По сравнению с традиционным навигационным оборудованием более легкое качество, более сейсмическая стойкость, на основе традиционного судоходства может дополнительно войти в цех, точная прослеживаемость до технологической точки загрязнения, чтобы помочь предприятиям реализовать управление точкой загрязнения.
• Точные результаты
Двойной режим работы: режим движения + режим анализа с фиксированной точкой GC - MS
Использование 70eV EI источник + четырехступенчатый стержневой масс - спектрометрический качественный количественный, полностью ионизированный воздух в VOCs, в соответствии со стандартной библиотекой NIST, точная характеристика; Национальный стандарт добавлен, результаты сопоставимы с лабораторными.
• Высокая экологическая применимость
Немеханические насосные вакуумные системы, более экологичные
Откажитесь от высокоскоростных вращающихся компонентов, используйте немеханические вакуумные насосы для решения многомерных больших вибраций, которые не могут работать, чтобы обнаружить и другие проблемы.
Результаты и спектрограммы обнаружения
Полупроводниковая производственная зона и окружающая среда оборудования AMC Monitor Solutions представлены, чтобы узнать больше, пожалуйста, свяжитесь с нами!