В полупроводниковой глубокой ультрафиолетовой фотолитографии, NH, HCL, HF и другие уровни следовых молекулярных загрязнителей воздуха AMC являются « невидимыми убийцами» качества продукта, его реакция с химически усиленным фоторезистом будет напрямую влиять на производительность полупроводниковых устройств, в то время как традиционные методы мониторинга являются сложными, медленными и недостаточно точными для удовлетворения потребностей отрасли в точном мониторинге в режиме реального времени. В этом контексте Ductek запустила систему мониторинга молекулярных загрязнителей воздуха Orion 3100S AMC, чтобы технологически прорваться через болевые точки в промышленности и предоставить решения для мониторинга полупроводниковых чистых камер.

Основные преимущества системы мониторинга молекулярных загрязнителей воздуха AMC Orion 3100S, созданной специально для полупроводниковой промышленности, связаны с технологией CEAS (спектр поглощения с увеличенной полостью). По сравнению с традиционными ударными фильтрами, ионной хроматографией и другими косвенными измерениями, а также технологией CRDS, система не требует строгого наведения на лазерный луч, простая установка и сильная механическая стабильность, может быстро и точно захватывать загрязняющие вещества микроуровня. Его точность обнаружения достигла отраслевого уровня, HCl, HF ограничения обнаружения до 0,1 ppb, NHnenenebd предел обнаружения менее 0,1 ppb, для достижения измерения уровня sub - ppb в реальном времени, в то же время эффективно избегая перекрестных помех водяного пара, CO2b, O2b и других компонентов в атмосфере, чтобы обеспечить точность и надежность данных.

Система в функциональном дизайне полностью адаптирована к сценарию производства полупроводников, с многомерной основной конкурентоспособностью. Скорость отклика чрезвычайно высока, каждый канал занимает всего 5 секунд, чтобы завершить обнаружение, в сочетании с гибкой конфигурацией канала 1 - 64, чтобы покрыть широкую область измерения, чтобы удовлетворить потребность в высокочувствительной реакции с несколькими газами. Встроенные в Linux системные компьютеры, поддерживающие массивное хранение данных и выход с несколькими интерфейсами, могут объединять данные 4 - 6 анализаторов через модули моделирования Ethernet, RS485 / RS232 или 4 - 20mA. Эксклюзивное программное обеспечение DUKE HMI включает в себя многоточечный контроль отбора проб, отображение кривых данных в реальном времени, сигнализацию, анализ исторических тенденций и другие функции, а также поддерживает удаленное сетевое управление. Пользователи могут использовать браузер для многоуровневой работы с правами доступа в любом месте подключения к Интернету, а также подключение к штаб - квартире Ductek или поставщикам услуг для удаленной диагностики.

Кроме того, система мониторинга молекулярных загрязнителей воздуха AMC Orion 3100S является удобной и экономичной. Использование 310 нержавеющей стали подвижной шкаф, то есть вставка, через несколько минут для завершения развертывания чистой комнаты; Нет реактивов, радиоактивных источников и других расходных материалов, твердотельных электронных устройств без подвижных компонентов, стоимость обслуживания чрезвычайно низкая и длительный период без обслуживания. Система также имеет преимущества независимой программируемой сигнализации, настройки реле, данных отключения питания не теряется, 80 - метровый отбор образцов сверхдлинных трубопроводов и т. Д., Открытый протокол связи облегчает вторичную разработку и интеграцию, адаптируется к жестким производственным требованиям полупроводниковой промышленности.

Внедрение этой системы может не только эффективно улучшить согласованность сопротивления полупроводниковых устройств, продлить срок службы фильтров, сократить время простоя производства, но и дать науке и технике возможность содействовать модернизации уровня чистого производства в отрасли. Обладая многолетним опытом работы в полупроводниковой промышленности, Ducketek предоставляет полупроводниковым предприятиям надежные гарантии мониторинга AMC с помощью технологий и интимных услуг.