В чистой производственной среде камеры точный мониторинг газообразных молекулярных загрязнителей (AMC) является ключевым звеном в обеспечении производственных мощностей. Фотоакустический анализатор газов на основе тетрафторуглерода DKG ONE - CF4, основанный на инновационных технологиях и характеристиках, обеспечивает эффективное, стабильное и недорогое решение для мониторинга загрязнителей CF4 в чистых камерах и пересматривает стандарты мониторинга следовых газов.

Основные технологии: двойные инновации для создания краеугольного камня точности мониторинга

DKG ONE-CF4Способность фотоакустического спектрального анализатора следов тетрафторуглерода (ТФУ) осуществлять точный мониторинг обусловлена глубоким слиянием двух основных технологий, что позволяет преодолеть ограничения, связанные с традиционным оборудованием:

Сверхчувствительная система обнаружения: оснащена сверхчувствительным оптическим консольным балочным микрофоном, который в сочетании с лазерным интерферометром может точно захватывать микродвижение консольной балки; В сочетании с источником света с распределенным квантовым каскадным лазером с обратной связью (QCL) с точной фокусировкой на базовом инфракрасном спектральном поглощении CF4, может обнаруживать брызги или разливы CF4 с крошечными концентрациями без задержки, контролировать нижний предел (LoD) ниже 0,1 ppb, чтобы достичь « нулевой утечки» следовых загрязнителей.

2. Стабильная конструкция без дрейфа: использование принципа обнаружения прямого поглощения, с характеристиками « нулевого фона», без зависимости от каких - либо расходных материалов или химических реагентов. Во время работы, даже если температура окружающей среды и давление образца изменяются в заданном диапазоне, это не вызовет дрейфа оборудования, цикл повторной калибровки может длиться до нескольких месяцев или даже лет, чтобы избавиться от частых проблем калибровки.

Основные преимущества: многомерность для удовлетворения потребностей в мониторинге чистой комнаты

От эффективности мониторинга до эксплуатационных расходов, оптический и акустический спектральный анализатор следов тетрафторуглеродов DKG ONE - CF4 адаптируется к сложным сценам в чистой камере, создавая для пользователей множество преимуществ:

Хорошая производительность мониторинга: время отклика может быть гибко настроено (5 секунд - 3 минуты), может быстро захватить внезапное повышение концентрации загрязняющих веществ; Динамический диапазон более 5 порядков (в 100 000 раз ниже порога обнаружения), одноточечная калибровка может достичь отраслевого уровня; И с высокой избирательностью, без вмешательства ацетальдегида и других VOC, чтобы обеспечить точность и надежность данных.

Гибкий и удобный в эксплуатации: Предлагается три схемы корпуса для различных сценариев - одногазовые аналитические модели оснащены дисплеем с высоким разрешением и кнопкой вращения, интерфейс интуитивно понятный; Дополнительный переносной наружный ящик, облегчающий мобильное обнаружение предсказуемой зоны утечки; Многомодульная система может быть интегрирована в мобильную систему мониторинга, которая может быстро перемещаться в различные ключевые точки измерения для достижения покрытия.

Стоимость транспортировки и обслуживания крайне низка: встроенный газообменный насос и газообменная система, потребность в образце составляет всего несколько миллилитров, что значительно снижает потребление газа; Проектирование без расходных материалов экономит затраты на замену, интервалы калибровки до нескольких лет снижают затраты труда и времени; 19 "Корпус 3U подходит для настольной или рамной установки, экономя чистое пространство комнаты.

Параметры жесткого ядра: полная адаптация к промышленным потребностям

С точки зрения общих характеристик и адаптации к окружающей среде, оптический и акустический спектральный анализатор следов тетрафторуглерода DKG ONE - CF4 соответствует строгим стандартам промышленных чистых камер для обеспечения стабильной работы:

Общая конфигурация: встроенный компьютер с 7 - дюймовым широкоэкранным дисплеем с поддержкой цифрового и графического отображения результатов; Наличие достаточного объема данных для непрерывного хранения данных в течение одного года с минимальными интервалами отбора проб; Интерфейсы богаты, охватывают Ethernet, USB， Дополнительные протоколы RS485, RS232, выход тока, выход напряжения, MODBUS и AK, а также удаленное управление с помощью мобильного телефона, планшета и компьютера для удобной работы.

Высокая адаптивность окружающей среды: рабочая температура покрывает 0°C - 49°C, диапазон температур хранения - 20°C - 60°C; Устойчивая работа при давлении 750 - 1050mbar, без затвердевания (максимальная относительная влажность 80% при температуре 35°C и линейное снижение до 35% при температуре 49°C); Степень защиты от пыли и воды IP20 (IEC 529) соответствует большинству промышленных чистых помещений.

Гарантированное соответствие: строгое соответствие Директиве о низком напряжении 2014 / 35 / EU, Директиве EMC 2004 / 108 / EC и Директиве ROHS 2 2011 / 65 / EU, с точки зрения безопасности, электромагнитной совместимости и защиты окружающей среды, соответствует отраслевым нормам, может быть уверенным в запуске в промышленный производственный сценарий.

Применительная ценность: сопровождение производственных мощностей чистых комнат

Уровень загрязняющих веществ в чистых камерах напрямую влияет на качество и производительность производства, а анализатор газов на основе тетрафторуглеродов в спектральном спектре оптических и акустических следов DKG ONE - CF4 позволяет контролировать концентрацию загрязняющих веществ CF4 в реальном времени, избегая производственных потерь в результате утечки, благодаря точному, надежному и низкому техническому мониторингу AMC. Его независимые эксплуатационные характеристики и гибкие установки, мобильные решения могут широко использоваться в полупроводниках, электронике, прецизионной химической промышленности и других отраслях промышленности, зависящих от производства чистой комнаты, для предприятий, чтобы снизить стоимость и повысить эффективность, чтобы обеспечить ключевую техническую поддержку.