I. Название прибора

Китайское название:Электронный микроскоп с полевым сканированием

Английское название:Полевой эмиссионный сканирующий электронный микроскоп

II. Модель:ZEISS GEMINI 500

3 Производитель:Цейсс, Германиякомпанией ZEISS

IV. Описание приборовА.

Компания ZEISS Gemini 500Сканирующий электронный микроскоп - это полностью функциональный полевой сканирующий электронный микроскоп (FE-SEMМожно использовать вторичные электроны и электроны обратного рассеяния с высоким разрешением, высокой контрастностью и высоким коэффициентом сигнала / шумаВ объективеОбнаружение, даже требовательные образцы, не проводящие электричество, могут получить четкое изображение, которое может быть отображено на нескольких образцах с низкой футеровкой и низким напряжением. Одновременно с Брук.ХРентгеновский спектрометр может широко использоваться для микроморфологического и композиционного анализа.

Основные характеристики прибора и технические показатели:

1...Разрешение:0,6 нм@ 15 КВ(Вторичные электроны),1.1nm@1kV(Вторичные электроны, без каких - либо специальных режимов);1,2 нм@ 500В*

2. Увеличение:20 - 20 000 000

,В зависимости от изменения напряжения ускорения и рабочего расстояния, умножение автоматически калибруется, а низкое и высокое увеличение не требует замены режима;

3. Электронная пушка: ШоткиЗапуск теплового поляЭлектронная пушка;

4. Диапазон ускоренного или посадочного напряжения:0,02 кВ...30 кВШаг вперед10ВНепрерывно регулируемый;

5. Ток зонда: максимальный ток100нА*

6. Внутри зеркала имеется конструкция электростатической линзы.ферромагнитный материалСоздание изображений с высоким разрешением;

7. Максимальный размер образца.200 ммМаксимальная высота образца ≥60 мм*

8. Стенд для отбора проб с приводом от пятиосного центрового двигателя, максимальный диапазон перемещенияПоказатели:Х≥130ммА,Y≥130ммА,Z≥50ммДвусторонний наклон, область наклона- 3° - 70°Поворот ≥360°(Непрерывное вращение);

9. В пробной камере имеется отдельный электронный детектор рассеяния (ЭСБ);

10. Внутренний вторичный электронный детектор (SE);

11. Установка в зеркале на оптической оси с очень высоким разрешениемВ объективеВторичный электронный детектор (В линзе SE);

12. Установка газовых замков (воздушная блокировка), замена образца имеет более короткое вакуумное время;

13. спектрометр ≥60 мм²Площадь активной зоны

Основные функции прибора и его назначение:

1. Микроскопические морфологические наблюдения материалов проводятся в областях материаловедения (металлические материалы, неметаллические материалы, наноматериалы, органические материалы), химии, металлургии, биологии, медицины, полупроводниковых материалов и приборов, геологоразведки, уголовной разведки, промышленного производства и т.д. (Образец жидкости должен быть полностью высушен, прежде чем его можно будет протестировать)

2. Для материала в режиме реального времени микрозональный анализ состава, количественный и качественный анализ состава элементов, быстрое многомерное сканирование поверхности и измерение распределения точечного и линейного сканирования.

VII. Изображения прибора

VIII. Примеры применения

1. Физический анализ:

Исследовательская группа подготовила наноструктуру из металла и серебра, которая требует наблюдения за ее микроморфологической структурой, чтобы проверить, что этот наноматериал имеет хорошие перспективы применения в каталитической области. Мы протестировали образец с использованием различных увеличений, различных режимов сканирования и спектральных тестов, и результаты были следующими:

1.1 Разное увеличение

1.2 Наблюдение в разных режимах сканирования

2. ЭДСКачественный анализ элементов:

2.1Точечное сканирование

2.2 Линейное сканирование

2.3 Поверхностное сканирование

Примечание: Статья воспроизведена в Отделе материаловедения и инженерии Технологического университета Цилу.Сканирующий электронный микроскоп со сверхвысоким разрешением ZEISS G500"И".