линейная круговая сушилкаИспользуя сверхкритическую технологию, вещество в сверхкритическом состоянии не является ни газом, ни жидкостью, а обладает диффузионной способностью газа и растворимостью жидкости. Эта особенность позволяет сверхкритической жидкости эффективно проникать в крошечные пористости на поверхности кристаллического круга, удаляя остаточную влагу или очищающую жидкость, что приводит к быстрой сушке.

　　линейная круговая сушилкаВ основном используется в процессе полупроводникового производства. После очистки кристаллического круга на поверхности остается много остатков воды или очищающей жидкости, в которых растворяются примеси, и если эти остатки жидкости испаряются и высыхают сами по себе, примеси снова прилипают к поверхности кристаллического круга, вызывая загрязнение. Поэтому поверхность кристаллической окружности должна быть высушена с помощью линейной сушилки для удаления этих остатков жидкости и обеспечения качества кристаллической окружности.

Характеристики продукта:

Высокая надежность: использование прочной конструкции и стабильных эксплуатационных характеристик для обеспечения согласованности и надежности в долгосрочном использовании, сокращения частоты обслуживания.

Высокоэффективная автоматизация: механизм загрузки и разгрузки, специально предназначенный для процесса сушки кристаллического круга, для удовлетворения потребностей в автоматизации оборудования на передовых производственных линиях и повышения эффективности производства.

Адаптация к сверхчистой среде: суперчистая среда, подходящая для производства кристаллических кругов, гарантирует, что загрязнение не будет введено в процесс сушки, чтобы гарантировать качество кристаллических кругов.