Отрицательный фильтр- многослойный мембранный прибор, который « позволяет красному свету идти и оставлять синий свет» - кажется, просто стеклянный лист толщиной в несколько микрон, но определяет качество изображения лазерного радара, медицинского эндоскопа и сценического освещения. Его скорость готовой продукции увеличилась с 70% до 95%, ключ не в более дорогой машине для нанесения покрытия, а в управлении процессом « вычисления каждой ошибки слоя». Ниже мы расскажем о четырех железных правилах, лежащих в основе его высокой производительности.I. основание "очищающее лицо" не соответствует стандарту, сзади все напрасно
Стекло B270 после вскрытия сначала очищается 15 - минутным RCA - 1 (NH OH: H2Oneneneek: H2O = 1: 1: 5, 75°C), органические остатки уменьшаются до < 0,3 нм; затем 10 - минутная плазменная бомбардировка, поверхность может быть увеличена до 72 мН·m ⁻1, так что адгезия первого слоя Ta2O ₅ составляет от 2,5 Н до 5,8 н., а затем выпекается при температуре 200°C без кожуры.
Во - вторых, ионный пучок « Стабильная скорость» важнее, чем « высокая скорость»
Покрыватель использует радиочастотный ионный источник 6 см, PID - замкнутое кольцо управляет 2 - inch чипом, скорость осаждения колеблется до ± 0,2%. В качестве примера возьмем интерферометрический отсек 532 нм, 21 слой мембраны, общая толщина 3,8 мкм, до тех пор, пока скорость дрейфа 1%, центральная длина волны будет смещена на 2 нм, прямая скорость сразу же упадет на 10%. Скорость стабилизировалась, и удар длины волны уменьшился с ±3 нм до ±1 нм, увеличив скорость прохождения на 15%.
В - третьих, экстремальный мониторинг в реальном времени « нулевое запаздывание» для исправления ошибок
В процессе осаждения с помощью ионного пучка (IAD) спектрометр на чиповом уровне собирает экстремальное значение пропускания каждые 0,5 s, алгоритм 1 s вычисляет фактическую скорость преломления текущего слоя n ± 0001 и изменяет мощность электронной пушки в обратном направлении. На 7 - м уровне было обнаружено, что n был на 0,8% ниже, и система сразу же увеличила толщину Ta2O₅ на 1,2 нм, оттягивая длину волны обратно к расчетному значению. По сравнению с традиционным « повторным измерением покрытия», коэффициент переделки монолитного листа снизился с 8% до менее 1%.
IV. Баланс напряжений "сэндвич" Структура против трещин
Для мощных лазерных пластин требуется порог повреждения 60 Дж. см², а напряжение мембраны должно быть близко к нулю. Инженеры чередуют Ta2O ₅ (+ 180 MPA) с SiOneneneek (- 120 MPA) по соотношению толщины 2: 3 и добавляют 20 нм к нижнему слою буфера низкого напряжения MgFneneneek, общее напряжение падает с + 350 MPA до + 30 MPA, 24 h холодный и тепловой удар (- 40°C) ↔ После 85°C) без трещин, скорость прохождения экологических испытаний упоминается с 85% до 98%.
Из этого можно видеть, что высокая скорость готовой продукции не "быстро покрыта", а "правильно подсчитана, контролируется стабильно", устраняя каждую нанометровую ошибку до того, как свет войдет в стекло.