Этот заказчик, один из ведущих по индустриализации силовых приборов на основе карбида кремния (SiC) в Китае, установил первый Thetametrisis FR - Scanner - AIO - Mic в 2021 году, а в этом году приобрел второй и третий дополнительные устройства (как в видимом, так и в ультрафиолетовом диапазоне) из - за хорошей эксплуатации станков.
Измеритель толщины мембраны FR - Scanner - AIO - Mic использует интерферометрию видимого света в диапазоне длин волн 370 - 1020нм и может измерять толщину мембраны в диапазоне 12 нм - 90um (объектив 5X) с точностью до 0,2% или 2 нм и точностью 0,02 нм. FR - Scanner конфигурация ультрафиолетового света, диапазон длин волн до 200 нм, может быть применен к толщине мембраны в диапазоне 4 нм - 60um (объектив 5x) с точностью до 0,1% или 1 нм. Большинство измерителей толщины мембраны на рынке после добавления микроскопической конфигурации, диапазон измерения толщины мембраны устройства значительно сокращается, но продукт ThetaMetrisis этого не произойдет, диапазон измерения толщины мембраны остается широким. Стоит отметить, что реализация функции многоточечных измерений Mapping является стандартом серии FR - Scanner.