В области материаловедения и производства полупроводников точное представление смачивающих свойств поверхности является ключевым звеном в определении конечной производительности продукта. Недавно мы получили измеренные отзывы от Института новых энергетических материалов и завода по упаковке полупроводников. Два клиента протестировали приборы Beidou в Гуандуне. Прибор для измерения угла контакта в ультрагидрофобном покрытии> 150°) и производительность в процессе очистки монокристаллических кремниевых пластин. Эта статья основана на реальных данных испытаний, чтобы показать, как инструмент Guangdou Beidou справляется с двойной проблемой обнаружения сложных образцов и управления процессом высокой чистоты. Для инженеров и покупателей, которые ищут производителя высокоточных контактных угловых измерителей, я надеюсь, что этот отчет о измерениях обеспечит реальную основу для вашего выбора.

I. СОДЕРЖАНИЕ Почему стоит обратить внимание на эти два вида применения?

В ежедневных консультациях с клиентами часто задают вопрос:« Какой из отечественных контактных угловых измерителей хорош? », особенно перед лицом следующих двух типов образцов Ji, алгоритм прибора, точность капель и способность захвата изображений напрямую определяют достоверность результатов испытаний:

Гидрофобные материалы (> 150°): Капли жидкости имеют почти сферическую форму и очень легко прокручиваются. Традиционная эллиптическая квазизаконность в таких сценариях имеет огромную погрешность и требует алгоритмов для точного согласования края капли и обеспечения защиты от микровибраций окружающей среды.

Процесс очистки кремниевого круга: требуется гипергидрофильное состояние поверхности (угол контакта)< 5° Даже близко0°) используется для определения того, были ли органические загрязнители очищены от дна che. На этом этапе была предложена автоматическая точечная согласованность капель и способность распознавать под почти нулевым угломВысокийТребования.

Измеренный образец предоставлен клиентом, используется технической командой Beidou в провинции ГуандунCAСерия высокоточных контактных угловых измерителей с полной проверкой.

II. Измерение 1: Гидрофобные материалы (водные контактные щупальца)> 150°)

Испытательный образец

образецA:: алюминиевые пластины, обработанные фторсиланом

образецB:: Бионическое стекло со сверхгидрофобным покрытием

Трудности тестирования.

Капли очень легко прокручиваются, ручные капли могут привести к тому, что капли скользят до контакта с образцом; В то же время профиль капли почти круглый, обычный алгоритм легко150Ошибка в том, что145° или155°, Плохое повторение.

Решения и результаты ↑

Прецизионный инъекционный насос +Автоматическая капельная система:Контроль объема капли с точностью до0.1μLПроцесс капли плавный, капли полностью остаются в игле без предварительного падения.

Высокоскоростная промышленная камера и телеобъектив с низким искажением:Четко захватывает нижнюю трехфазную контактную линию вблизи полусферических капель.

Янг-ЛапласАлгоритм выравнивания уравнений:Это основа вычисления угла гипергидрофобии. Измеренные образцыAСредний угол контакта153.2°, образецBСредний угол контакта156.7°, непрерывность в одном и том же положении6Все стандартные отклонения меньше ±0.5Р° В.

Отзывы клиентов:« Раньше мы использовали определенное отечественное оборудование начального уровня, которое можно было только измерить140° Выйти из головы, и данные бьются большие. Гуандунский прибор Beidou для измерения угла контакта может быть стабильно дан150Достоверные значения выше °, и подходящий профиль соответствует высоте края фактической капли. "

Для команды разработчиков, которые проверяют высокоточные контактные угловые измерители, этот случай показывает, что инструмент должен быть не только"Измеряемые значения", но и "измерить тенденции".

III. Измерение 2: процесс очистки кремниевых кристаллических кругов (сверхгидрофильная поверхность)

Фон тестирования

В процессе мокрой очистки полупроводников органические остатки на поверхности кремниевого кристалла значительно уменьшают угол контакта (идеальное состояние без загрязнения)< 5° В). Если очистка не будет cheche дна, последующая фотолитография, тонкопленочные осадочные звенья будут иметь дефекты.

Трудности тестирования.

Капли разлагаются очень быстро (миллисекундный уровень), а обычная частота кадров камеры не может захватить истинную форму момента растяжения.

Небольшие (< 10При) необходимо вручную отрегулировать исходный уровень или полагаться на программное обеспечение для автоматического распознавания твердого интерфейса, иначе ошибка может быть увеличена до5Свыше °.

Поверхность кристаллического круга не допускает контакта с загрязнением и должна быть бесконтактной или иглой, зависающей на очень близком расстоянии от капель.

Решения и результаты ↑

Высокоскоростной сбор изображений (100 кадров в секунду): Полная запись капли после контакта с кристаллическим кругом0.1Процесс растяжения в течение секунды, чтобы избежать недооценки угла, вызванного запаздывающей съемкой.

Автоматическое распознавание контура капли и касательный метод: для< 10° Углы соприкосновения, программное обеспечение поддерживает выравнивание расширенных касательных и имеет функцию автоматической коррекции базы.

Измеренные данные:

Нормальный круг процесса очистки: средний угол контакта 3.2° (капли почти полностью проложены)

Круги с незначительными органическими остатками: средний угол контакта 14.5Б

Загрязнение сверхстандартной окружности: средний угол контакта 32.8Б

Оценка клиентов:« Только способность различать углы достигает ±1В пределах °, чтобы помочь нам быстро отфильтровать и очистить неквалифицированные кристаллические круги на производственной линии. Гуандунский прибор Beidou позволил нам в отечественном контактном угловом измерителе, который хороший сравнительный тест, в конечном итоге сделал выбор. "

IV. Почему эти два типа приложений подтверждают общую производительность контактного углового измерителя?

Хороший производитель высокоточных контактных угловых измерителей не должен хорошо работать только на обычных материалах, но должен быть в"Двухполюсный предел" (Ji High Count)+Крайне низкий угол) В сценарии по - прежнему даны надежные, воспроизводимые данные.

V. Выводы и выборочные рекомендации

С помощью этого теста клиента можно сделать следующие выводы:

Гуандунский прибор Бэйдоу прибор для измерения угла контакта Гидрофобия (> 150°) и гипергидрофильные (< 5°) Оба Ji - терминальных интервала обеспечивают стабильные, точные и отслеживаемые измерения.

Основными преимуществами являются: высокоточные инъекционные насосы, высокая частота кадров с низкой деформацией в систему изображений и профессиональнаяЯнг-ЛапласАлгоритм согласования касательных.

Инструменты применяются не только к обычным высокомолекулярным, стеклянным, металлическим поверхностям, но и более компетентным для новых источников энергии, полупроводников, специальных покрытий и других отраслей с высокой добавленной стоимостью строгих требований к тестированию.

Если вы хотите найти производителя, который может предоставить высокоточные контактные угловые измерители для обслуживания ваших потребностей в исследованиях и разработках и тестировании производственных линий, вы можете провести фактический тест прототипа. Guangdou Beidou поддерживает образцы или демонстрации на дому, принятие решений на основе реальных данных намного надежнее, чем просто смотреть на таблицу параметров.