I. ПОДГОТОВКА К ОПЕРАЦИИ
Предварительная обработка образцов: обеспечивает сухость образцов, отсутствие летучих веществ (зеркал для предотвращения загрязнения), прямое использование проводящих образцов, обработка непроводящих образцов путем впрыска золота / распыления углерода (предотвращение накопления заряда); Размер образца должен быть адаптирован к стенду образца, чтобы избежать превышения диапазона нагрузки.
Контроль приборов: наблюдениеЭлектронный микроскоп с полевым сканированиемНормально ли питание, вакуумная система, нет остаточных образцов или примесей в цилиндре, уровень жидкости в системе охлаждения (например, жидкий азот) соответствует требованиям.
Нормы безопасности: носить защитные перчатки (чтобы избежать загрязнения образца / прибора отпечатками пальцев), категорически запрещается включать электронные пушки, когда вакуум не соответствует стандарту, вдали от зеркального наблюдательного отверстия (для защиты от радиации).
II. Основные оперативные шаги
1. Погрузка образцов
Откройте дверь камеры для образцов и закрепите предварительно обработанный образец на стенде для образцов (убедитесь, что установка прочная и избегайте перемещения);
Закройте дверь камеры образцов и запустите вакуумную систему, ожидая, что вакуум соответствует требованиям прибора (обычно показывает « вакуумную готовость» индикатора освещения).
2. Запуск электронной пушки и настройка параметров
После вакуумного достижения стандарта включите электронную пушку, выберите напряжение ускорения (в зависимости от типа образца, обычно 1 - 30 кВ, образец электропроводности может быть высоким напряжением, образец без электропроводности с низким напряжением);
Установите излучающий ток (следуйте рекомендуемому диапазону прибора, избегайте слишком большого повреждения образца или прибора).
3. Образцы наблюдения и определения местоположения
Настройка оси XYZ стенда для отбора образцов, поиск целевой области с помощью оптического микроскопа или низкократного электронного изображения;
Переключиться на правильное кратное увеличение (постепенное изменение от низкого до высокого, низкое для позиционирования и высокое для детального наблюдения).
4. Регулирование и сбор изображений
Регулируйте яркость, контраст, чтобы изображение было ясным (избегайте слишком яркого или слишком темного);
Выберите разрешение изображения (скорректированное по требованию, высокое разрешение подходит для детального анализа, низкое разрешение подходит для быстрого предварительного просмотра);
Нажмите кнопку "Сбор", чтобы сохранить изображение (можно выбрать форматы JPG, TIFF и т.д.).
5. Процесс выключения
Сначала выключите электронную пушку, понизите напряжение ускорения до 0;
Ожидание сброса давления вакуумной системы (принудительное открытие двери не допускается), извлечение образца после завершения сброса давления;
Отключите питание прибора, систему охлаждения, очистите стенд для образцов и рабочую зону.
III. Ключевые вопросы, требующие внимания
Если вакуум не соответствует стандарту, запрещается открывать электронные пушки или двери камеры для отбора образцов, иначе они повреждают зеркальные и электронные пушки;
Образцы должны быть сухими, не коррозионными, чтобы избежать загрязнения вакуумной системы или внутренней части цилиндра;
При регулировке кратности усиления и стенда для образцов движение должно быть медленным, чтобы предотвратить столкновение образца с зеркалом;
еслиЭлектронный микроскоп с полевым сканированиемПоявляются нечеткие изображения, разряды и другие аномалии, немедленно выключите электронную пушку, свяжитесь с техническим персоналом для расследования, не можете самостоятельно разобрать инструмент.