Вакуумное покрытие (например, магнитное распыление, испарительное покрытие,ПЭКВДОсновные потребности являютсяПоддержание высокого вакуума, низкое загрязнение, стабилизация ритма процессаЗапечатанный материал вакуумного клапана, диаметр прохода, скорость открытия и закрытия должны соответствовать глубине технологического звена (вакуум - насос, покрытие, вход и выход деталей), вот конкретная логика соответствия:

I. уплотняющий материал: адаптация вакуума и среды, предотвращение загрязнения

Материал уплотнения непосредственно определяет скорость утечки, термостойкость и выброс загрязняющих веществ клапана, необходимо сочетать уровень вакуума и тип среды процесса покрытия:

1. Соответствие герметичных материалов по вакууму

2. Специальные требования к технологической среде

•Если в процессе покрытия используются коррозионные газы (например, хлор, фторид): предпочтениеПерфторированный каучук (ФФКМ) илигерметизация из сплава ХарвиИзбегать старения резины, приводящего к отказу уплотнения и утечке газа;

•Если для безмасляных вакуумных систем (например, полупроводниковое покрытие): использование нефтесодержащих герметичных материалов строго запрещено, необходимо выбрать “Сертификация без масла"Резиновое или металлическое уплотнение, в сочетанииМКСИспользование сухих вакуумных насосов для предотвращения загрязнения покрытий масляным паром;

•Технология высокотемпературного покрытия (например, высокотемпературное испарительное покрытие, температура)300℃): ВыборМеталлическое уплотнение (медная прокладка, алюминиевая прокладка) Или высокотемпературный фтористый каучук, предотвращающий высокотемпературное разложение герметичного материала для образования загрязняющих веществ.

3. Совместимость с системой обнаружения утечки

Скорость утечки герметичного материала должна соответствовать точности обнаружения утечки вакуумной системы, рекомендуется выбрать скорость утечки≤10⁻¹⁰ Pa・м³/сКлапаны (например,МКСКомплект вакуумных клапановФФКМуплотнение) образует замкнутое кольцо с гелиевым масс - спектрометрическим течеискателем для обеспечения стабильности вакуума в полости покрытия.

II. Проезд: Соответствие требованиям к потоку и технологическому ритму, балансирующая эффективность и сохранение вакуума

Пропускной диаметр (внутренний диаметр клапана) определяет скорость вытяжки газа и пропускную способность детали, необходимо комбинировать объем полости покрытия, время вакуума, размер детали комбинированный расчет:

1. Основная формула выбора прохода (упрощенная версия)

ПроходД(мм)≈ √(V×S÷t)В том числе:

•ВОбъем полости (Л);

•ССкорость накачки вакуумных насосов (Л/сНапример,МКС ЭДЖСерия комплектующих вакуумных насосов);

•тВремя вакуума для цели (сВ)).

2. Соответствует диаметру различных сценариев покрытия

3. Ключевые моменты

•Слишком большой проход может привести к увеличению риска вакуумной утечки и должен быть дополнен вакуумным насосом с более высокой скоростью накачки; Слишком малый проход увеличивает время вакуума, снижает такт линии;

•Многоканальная система покрытия (например, многоцелевое магнитное распыление): основной канал вытяжки выбирает большой проход (ДН80~ДН125В ответвлении канала выбирается малый проход (ДН15~ДН40) Достижение зонального вакуумного контроля.

III. Скорость открытия и закрытия: адаптация технологического звена, чтобы избежать вакуумных колебаний и дефектов покрытия

Скорость открытия и закрытия (время от полного закрытия клапана до полного открытия) должна быть скорректирована в соответствии с основными потребностями технологического звена, чтобы избежать чрезмерной скорости/Слишком медленный вызывает вакуумные колебания или проблемы с качеством покрытия:

1. Скорость в разных технологических звеньях

2. Скорость и герметичность материала.

•Быстропереключаемые клапаны: предпочтение отдается износостойким, ударостойким уплотняющим материалам (например, фтористому каучуку, металлическому уплотнению), чтобы избежать частых переключателей, приводящих к износу уплотнений, увеличению срока службы;

•Медленно открывающийся и медленно закрывающийся клапан: можно выбрать более эластичное силиконовое уплотнение, чтобы уменьшить ударную силу при закрытии клапана и повысить надежность уплотнения.

3. Соответствие ритму производственной линии

•Массовая производственная линия (например, стеклянная пленка для мобильных телефонов): выберите клапан быстрого переключения (0,1 ~ 0,3 с) СовокупностьМКСФункция быстрой загрузки и остановки радиочастотного источника питания, сокращающая время обработки одной партии;

•Высокоточное индивидуальное покрытие (например, оптические линзы): использование клапанов с замедленным выключением (2~3 с) Избегайте вакуумных колебаний, приводящих к неравной толщине покрытия, цветовой аберрации и другим дефектам.

IV. Выбор комплексных случаев соответствия

по «100 лполость покрытия с магнитным распылением (высокий вакуум)10⁻⁷ PaМассовое производство мобильного стекла)"Пример:

1. Запечатанный материал: выборФФКМПерфторированный каучук (низкая скорость выпуска, стойкость к плазменной коррозии), отвечающий требованиям сверхвысокого вакуума;

2. проход: объем полости покрытия100 лСкорость накачки вакуумным насосом50 л/сВремя вакуума для цели.60 секундРасчет диаметра прохода≈√(100×50÷60) ≈9 ммФактический выборДН40（1.5 ') проходной путь, резервирование избыточности;

3. Скорость открытия и закрытия: для вакуумной фазы0,2 секундыБыстрый электромагнитный клапан1,5 секундыМедленное открытие пневматического клапана, вход и выход изделий3 секундыМедленно открывайте электрический клапан, балансируйте эффективность и стабильность.

Ханчжоуская региональная технологическая компания с ограниченной ответственностьюСосредоточьтесь на предоставлении технических услуг и решений, связанных с потоком, давлением, вакуумным обнаружением и контролем для промышленных и научных клиентов, агент компании продает в СШАALICAT、 Такие бренды, как Vogtlin в Швейцарии, MKS в США и EBARA в Японии, предоставляют клиентам высококачественные решения для мониторинга трафика и давления в сочетании с продуктами агентства, которые направлены на повышение эффективности исследований и разработок и производства клиентов, улучшение производственных процессов клиентов и продвижение исследований и инноваций клиентов.