Вакуумное покрытие (включаяПВДФизическое осаждение в газовой фазе,CVDХимические отложения в газовой фазе,АЛДАтомные отложения и т. Д.) являются основной областью сочетания технологии вакуума и материаловедения,Вакуумные клапаны как вакуумные системы “Центр управления потоком и изоляцией"Это напрямую влияет на стабильность вакуума процесса покрытия, чистоту мембраны, производительность и срок службы оборудования. Ниже, начиная с всего процесса процесса покрытия, детальная разборка вакуумных клапанов сцены применения, требования к выбору и типичная конфигурация, точное соответствие фактическим потребностям отрасли:

Основные технические требования к вакуумным клапанам для промышленности вакуумного покрытия

Вакуумное покрытие должно быть 高真空（10⁻³~10⁻⁵ Pa)/超高真空（10⁻⁶~10⁻⁹ Pa) Проводится в окружающей среде, и требования к чистоте газа, загрязнению частицами, температурной совместимости являются жесткими, поэтому клапаны должны соответствовать:

1.Отличная герметичность.: Коэффициент утечки≤10⁻ ² Па・м³/с(Гипервакуумный сценарий требует≤10⁻¹⁵ Pa・м³/с) избегая проникновения воздуха и водяного пара, приводящего к окислению мембраны, смешиванию;

2.Низкий воздух и высокая чистотаМатериал клапана требует низкого давления пара (например,316ЛПолировка из нержавеющей стали, титановый сплав), уплотнение выбирается из фтористого каучука (Витон), перфторированный каучук (ПФУ)КалресИли металлическое уплотнение, уменьшающее собственное высвобождение газа (H₂OАCO₂И т.д.), количество производимых частиц1штука/ м³(Размер зерна≥0.1мкм);

3.точность регулирования расхода:: Для некоторых сценариев требуется линейное управление потоком (например, вход реакционного газа, регулирование вакуумного градиента), коэффициент проводимости (СТребуется адаптация системы вытяжки (обычно)С=100~1000 л/с);

4.Термостойкость и коррозионная стойкость:: Тепловая среда, подходящая для процесса покрытия (≤400℃Часть,АЛДТехнология800℃) и может переносить распыляемые ионы, реактивные газы (например,CF₄АO₂АNH₃) Коррозия;

5.Высокая надежность и долголетие:: Удовлетворение потребностей непрерывной работы производственной линии, срок службы переключателя10 ⁶Подкласс (вакуумный изолирующий клапан), регулируемый срок службы10 ⁴Подпункт (клапан управления расходом).

II. Варианты применения и выбор клапанов полного процесса с вакуумным покрытием

1. отсос вакуумной системы и изоляция камеры

1.Основная роль:: Выполнение переключения вытяжного воздуха в покрытой камере от атмосферного давления до целевого вакуума, а также изоляционная защита камеры от системы вытяжки.

2.Типичный тип клапана:

лКлапан с вакуумной вставкой (задвижка):: Для покрытия камеры и молекулярных насосов/Основная изоляция между диффузионными насосами характеризуется большой проводимостью (C≥500 л/с), надежное уплотнение, рекомендуемая модель:Пфайфер DUO 65 М(Сверхвысокая вакуумная форма, металлическое уплотнение, скорость утечки≤10⁻ ³ Па・м³/с),ККД КВСерия (пневматический привод, подходит для быстрой изоляции);

лКлапан - бабочка: Подходит для грубой откачки/Предоткачивающее звено (от атмосферного давления до10⁻³ Pa), компактная структура, быстрая скорость переключения (1Секунда) Рекомендуется выбрать конструкцию смазки без масла (например,Busch DVMСерия), чтобы избежать загрязнения камеры маслом;

лКлапан сверхвысокого вакуума: Для использованияАЛДВысокая точностьПВДТакие сверхвысокие вакуумные сценарии, с использованием магнитогидродинамического уплотнения или металлического гофрированного уплотнения для обеспечения отсутствия утечки, типичное применение: соединительная труба камеры с ионным насосом.

2. звено управления технологическим газом

1.Основная рольТочное управление реакционным газом (CVDРаспыляемые газы (ПВДВход и пропорция несущего газа напрямую влияют на состав мембраны, однородность толщины.

2.Типичный тип клапана:

лКонтроль качества (МФККомплектующий клапанА.МФКВстроенный игольчатый или шаровой клапан, требующий высокой точности регулирования расхода (повторяемость)≤±0,5% ФС) Высокая коррозионная стойкость, подходящий газ:АрАN₂АO₂АCF₄АSiH4И так далее, рекомендуем марку:МКС 1179АСерия,Хориба STEC SEC-Z500Серия;

лПневматический мембранный клапан:: Для основных дорожных переключателей реакционного газа, с использованием коррозионно - стойкого уплотнения (например, седла клапана из сплава Харви), чтобы избежать коррозии газа, приводящей к отказу уплотнения, подходитCVDКоррозионные газовые контуры процесса;

лКлапан угловой:: Подходит для быстрого прохода распыляемого газа, время отклика≤50мсОбеспечить стабильность давления газа во время нанесения покрытия.

3. Соединение покрытой камеры с системой передачи

1.Основная роль: Реализация кристаллического круга/Устройство в вакуумной полости (Замка загрузкиИзоляция и переключение канала передачи между полостью покрытия и полостью покрытия требуют нулевого загрязнения частицами.

2.Типичный тип клапана:

лВакуумный разделительный клапан (золотник):: Использовать переносную герметичную конструкцию без образования частиц трения, рекомендуемый тип:СМК XLGСерия (Чистая комната)Класс 1Класс, подходящий для полупроводникового оборудования для покрытия),компанией Nor-Cal AVСерия (металлическое уплотнение, сверхвысокая вакуумная совместимость);

лБыстрый вакуумный клапан: Для использованияЗамка загрузкиКамерная атмосфера/Вакуумное переключение, время откачки30Секунда (от атмосферного давления до10⁻³ Pa) С датчиками давления для достижения автоматического управления, повышения эффективности производства.

4. звено системы обработки выхлопных газов и вспомогательной системы

1.Основная роль:: Отравление токсичных и вредных выхлопных газов, образующихся в процессе покрытия (например,Cl₂АHFМеталлический пар) Безопасно экспортируется в оборудование обработки, чтобы избежать утечки загрязнения.

2.Типичный тип клапана:

лКоррозиестойкий вакуумный клапан:: Корпус клапана изготовлен из сплава Харли, сплава Монелла, уплотнения выбирают перфторированный каучук, рекомендуемый тип:Свагелок SS-6P4Серия (игольчатый клапан, приспособленный к коррозионному газу),резюме CelerityСерия (шаровой клапан, термостойкий≤200℃);

лпредохранительный клапан/Клапан сброса давления:: Для защиты от перегрузки давления в полости, установите точность давления ±5%Чтобы избежать повреждения камеры из - за резких изменений давления, рекомендуется использовать пружинную структуру (например,Пфайфер PR 400В)).

Различия в конфигурации клапанов для различных процессов покрытия

IV. Тенденции в области промышленного применения и рекомендации по выбору

1.тенденция гиперкавитации: САЛДВысокая точностьПВДРавнотехнологическая универсальность, сверхвысокий вакуумный клапан (скорость утечки)≤10⁻¹⁵ Pa・м³/с) Увеличение доли применения, предпочтение отдается металлическому уплотнению (например, медной прокладке, никелевой прокладке) вместо резинового уплотнения;

2.Интеллектуальная интеграция:: Клапан должен быть интегрирован с датчиком положения, модулем обратной связи давления, поддержкаПЛКУправление сцеплением, достижение вакуума-трафик-регулирование замкнутого цикла состояния клапана, адаптация к автоматизированной производственной линии;

3.Индивидуальные потребности:: Для высокотемпературного покрытия (например, >400℃Необходимо выбрать высокотемпературный клапан (например,ИнконельКорпус клапана, уплотнение металлической гофрированной трубки), чтобы избежать старения уплотнения;

4.Контроль за расходами:: В гражданском оборудовании для нанесения покрытий могут использоваться высокорентабельные резиновые уплотнительные клапаны (например, фторсодержащий каучук), полупроводниковое оборудование для нанесения покрытий должно отдавать приоритет обеспечению чистоты и коррозионной стойкости, а металлическое уплотнение или перфторированный резиновый уплотняющий клапан.

Если требуется конкретный процесс нанесения покрытия (например, определенный тип)ПВДОборудование,АЛДКапсула) или среда (например, конкретный коррозионный газ) Рекомендуемая модель клапана и конфигурация бренда, которая может дополнить требования, обеспечит более точное техническое решение!

Ханчжоуская региональная технологическая компания с ограниченной ответственностьюСосредоточьтесь на предоставлении технических услуг и решений, связанных с потоком, давлением, вакуумным обнаружением и контролем для промышленных и научных клиентов, агент компании продает в СШАALICAT、 Такие бренды, как Vogtlin в Швейцарии, MKS в США и EBARA в Японии, предоставляют клиентам высококачественные решения для мониторинга трафика и давления в сочетании с продуктами агентства, которые направлены на повышение эффективности исследований и разработок и производства клиентов, улучшение производственных процессов клиентов и продвижение исследований и инноваций клиентов.