I. СОДЕРЖАНИЕмноготемпературная трубчатая печьПодготовка перед операцией

Проверка оборудования

Корпус печи и герметичность: Проверьте исправность труб печи, фланцевых интерфейсов, уплотнительных колец, отсутствие трещин или старения. Оставайтесь в течение 30 минут после выкачивания вакуума (10 ⁻Па) и наблюдайте, является ли вакуум стабильным, подтверждая отсутствие утечки.

Электрическая система: Подтвердите, что линии электропитания, заземления соединены прочно, без оголения или повреждения. Проверьте панель управления, чтобы показать, нормально ли это.

Газопровод: Проверьте давление баллона (≥ 0,5 МПа), редукторный клапан, расходомер в норме, в трубопроводе нет утечки (соединение обнаруживается водой с мылом).

Система охлаждения: Подтверждение давления циркулирующей воды (≥0,2 МПа), температуры воды (30°C), охлаждающая труба не засорена.

Подготовка образцов

Размер и расположение: длина образца - 60% - 80% длины эффективной зоны нагрева трубы печи, диаметр - 80% внутреннего диаметра трубы печи. Используйте высокотемпературную подвеску (например, кварцевый, моллитовый стержень) вертикально в середине, расстояние между внутренней стенкой печной трубы ≥ 20 мм.

Чистая обработка: удаление масляного загрязнения поверхности образца, оксида, чтобы избежать загрязнения труб печи.

Параметры по умолчанию

Процедура нагрева: Установите скорость нагрева сегмента (например, комнатная температура → 300 ° C / 5 ° C / min → 600 ° C / 3 ° C / min → 1000 ° C), каждая целевая температура и время должны быть уточнены.

Время изоляции: Установите длительность изоляции в критических температурных точках в соответствии с технологическими потребностями (например, удаление клея 1h, спекание 2h).

Атмосферный контроль: Выберите инертный газ (Nneneneed / AR), восстановительный газ (H2B) или вакуумный режим, установите расход (например, H2200 mL / min).

Скорость охлаждения: устанавливается в соответствии с характеристиками материала (например, керамика 15°С / мин, металл - 25°С / мин).

II. Стандартизированные рабочие процессы

Сборка и уплотнение печи

Симметрично поместите трубу в центр печи, образец помещается в середину трубы печи, и на обоих концах установлены пробки трубы.

По внутренней фланцевой втулке, уплотнительному кольцу, нажимному кольцу, уплотнительному кольцу, наружной фланцевой втулке устанавливается в порядке, закрепляя 3 шестигранных винта, чтобы убедиться, что фланец не отклоняется.

Подключение и обнаружение утечки

Вакуумный режим: Закройте впускной клапан, соедините механический насос, вакуум до 10 ⁻Па после закрытия выпускного клапана.

Атмосферный режим:

Введите инертный газ (Nneneneed / AR), который продувается в течение 10 минут, расход 500 мл / мин, исключая воздух в печи.

При использовании водорода необходимо использовать мыльную воду для обнаружения течи каждого соединения, чтобы подтвердить отсутствие утечки и медленно открыть главный клапан баллона, регулировать выходное давление до 0,1 МПа.

Этап нагрева

Запустите питание, выберите предустановленную программу и подтвердите синхронный запуск каждой температурной зоны.

Диапазон низких температур (< 500°C): медленное нагревание (5°C / min), чтобы избежать трещин теплового напряжения образца.

Высокотемпературный сегмент (> 500°C): Скорость регулировки в соответствии с материалом (например, полупроводниковая кристаллическая окружность 3°C / min).

Мониторинг температурных кривых в реальном времени, чтобы убедиться, что отклонение в каждой температурной зоне составляет ± 5°C (в стационарном состоянии - ± 3°C).

Период изоляции

По достижении целевой температуры система автоматически переключается в режим изоляции, а выход мощности уменьшается до значения, необходимого для поддержания температуры.

Данные о температуре регистрируются регулярно (каждые 10 минут), чтобы убедиться, что значительных колебаний нет.

Динамическое регулирование атмосферы:

Процесс восстановления (например, восстановление металла): этап изоляции переключается на H2C, расход увеличивается до 300 мл / мин, содержание кислорода составляет 10 ppm.

Процесс окисления (например, керамическое спекание): Введите Oneneneek, расход 100 мл / мин, контроль разделения давления кислорода.

Период охлаждения

Естественное охлаждение: выключите источник нагрева, поддерживайте атмосферу или вакуум, избегайте окисления.

Керамические материалы: скорость охлаждения составляет 15°С / мин.

金属材料：降温速率≤25 ℃/мин.

Принудительное охлаждение (необязательно):

Когда требуется быстрое охлаждение, включайте систему воздушного или водяного охлаждения, но убедитесь, что образец выдерживает тепловой удар.

При охлаждении до температуры ниже 200°C допускается ускоренное охлаждение путем включения воздуха (необходимо подтвердить, что материал не подвержен риску окисления).

Прекращение операции: После падения температуры ниже 100°C, отключите подачу газа, высвободите вакуум (если применимо).

Ключевые контрольные точки и нормы безопасности

Регулирование температуры

Защита от перегрева: Установите порог сигнализации о перегреве (например, 1100 ° C) и автоматически отключите электричество после запуска.

Координация в температурной зоне: корпус печи в зоне с высокой температурой должен обеспечить, чтобы перепад температур в соседней зоне температуры составлял 10°C (при нагревании), а в стационарном состоянии - 5°C.

Управление атмосферой

Конструкция против обратного всасывания: газовые трубопроводы оснащены односторонними клапанами для предотвращения обратного потока газа в печи при остановке.

Мониторинг содержания кислорода: в процессе восстановления, мониторинг содержания кислорода в режиме реального времени, при превышении предела (> 50 ppm) автоматически переключается на продувку Nnenenebm.

защита безопасности

Индивидуальная защита: во время работы носите защитную маску, высокотемпературные перчатки, противогорячую обувь.

Аварийное реагирование:

Утечка воздуха: немедленно выключите баллон, эвакуируйте людей, ремонт после вентиляции.

Перегрев: Нажмите кнопку аварийной остановки печи, отключите питание и запустите систему охлаждения.

Пожар: использование сухопорошковых огнетушителей, запрещается бороться водой с электрическими пожарами.

IV. ПОСЛЕ ОПЕРАТИВНОГО ОБСЛУЖИВАНИЯ

Очистка корпуса печи: после охлаждения корпуса печи до комнатной температуры протрите внутреннюю стенку трубы мягкой тканью и удалите остатки.

Калибровка термопар: калибровка с использованием стандартной термопары каждые 3 месяца, погрешность более ±1,5 °C требует замены.

Замена уплотнительного кольца: проверка эластичности уплотнительного кольца каждые 6 месяцев, немедленная замена при старении или трещине.

Архив записей: Сохранить журнал операций (температурные кривые, расход газа, аномальные события), чтобы облегчить ретроспективный анализ.

V.многотемпературная трубчатая печьТипичный пример сценария применения

спекание электронной керамики

Процедура нагрева: комнатная температура → от 5°C / мин до 600°C (изоляция 1h) → от 3°C / мин до 1100°C (изоляция 2h).

Атмосферный контроль: N2C до 600 °C, затем переключается на смесь N2H2C (H25%) после 600 °C.

Скорость охлаждения: + 10°C / мин, естественное охлаждение после 200 °C.

Теплообработка металлов

Процедура нагрева: комнатная температура → от 10°C / мин до 500°C (изоляция 0,5h) → от 5°C / мин до 850°C (изоляция 1h).

Атмосферный контроль: полный проход Ar, содержание кислорода 5 ppm.

Скорость охлаждения: до 20°C / мин, водяное охлаждение после 300°C.