I. ОБЩИЙ ОБЗОР ТЕХНИЧЕСКОЙ ИНФОРМАЦИИ И СОСТОЯНИЯ

В настоящее время в анализе летучих загрязнителей в основном используется газовая хроматография - масс - спектрометрическая комбинация (именуемая "темпераментный анализ"). Хотя эта технология обеспечивает точные результаты анализа, она имеет очевидные ограничения: для отбора проб на месте требуется цистерна Сума, которая занимает от нескольких минут до нескольких десятков минут, а после отправки образцов в лабораторию анализ на каждой испытательной точке занимает не менее 30 минут; После эксперимента цистерна сума должна быть очищена, иначе это может привести к отклонению результатов; Чувствительность может покрывать только уровень ppb - ppm, не может непосредственно обнаруживать более низкие концентрации загрязняющих веществ и зависит от дополнительных методов обработки проб. Эти проблемы подчеркивают недостатки длительного процесса анализа темперамента, громоздких звеньев, медленного анализа и недостаточной чувствительности, что затрудняет удовлетворение потребностей быстрого обнаружения таких сцен, как воздух в цехе.

Для этого возникла быстрая, точная, простая в эксплуатации и более чувствительная аналитическая технология - масс - спектрометрия молекулярных ионных реакций (IMR - MS). В качестве зрелой новой ветви масс - спектрометрии, разработанной за последнее десятилетие, IMR - MS может быстро обнаруживать мелкие молекулярные органические остатки (VOCs), имеет преимущества простоты тестирования, высокой производительности в реальном времени, низкой стоимости, короткого времени и т. Д. В быстром обнаружении и оценке тенденций, более конкурентоспособной, чем лабораторный газохроматограф - масс - спектрометр, жидкостная хроматография - масс - спектрометр и бортовая технология мобильных испытаний.

В последние годы, с быстрым экономическим развитием и восстановлением экономики после вспышки, экологические проблемы становятся все более заметными, технология масс - спектрометрии молекулярной ионной реакции постепенно привлекает большое внимание производителей и пользователей, соответствующие технологии и продукты постоянно совершенствуются и становятся все более зрелыми. Среди них, южнокорейская компания Young In Ace разработала молекулярный ионно - реактивный масс - спектрометр ACE 1100 IMR - MS, который был проверен большим количеством приложений в области окружающей среды, демонстрируя характеристики миллисекундного обнаружения в реальном времени, высокой чувствительности уровня pptv и очень низкой стоимости обслуживания, что значительно помогает улучшить качество полупроводниковых продуктов и снизить затраты на производство.

II. Технические характеристики и показатели масс - спектрометра молекулярно - ионной реакции

1. Выделенность в реальном времени: в качестве масс - спектрометра в реальном времени частота анализа может достигать 1 раза в миллисекунду, что намного превышает традиционную технологию.

Высокая производительность ионного источника: источник ионов, используемый для анализа, не зависит от чистоты или объема образцов ионов и сохраняет высокие аналитические свойства.

Точность разделения и выбора: использование двухмассового четырехполюсного фильтра и реакционной камеры для быстрого и точного отбора ионов.

4. Количественный способ: количественный анализ достигается с помощью количественных кривых (MTF), связанных химическим разделением, без необходимости в стандартных образцах.

Высокочувствительное покрытие: количественный / качественный анализ уровня субpptv может быть выполнен с использованием трех ионов положительного реагента и пяти ионов отрицательного реагента.

6. Диапазон анализа широк: можно анализировать изотопы, изомеры, летучие органические соединения, некоторые неорганические вещества и галогенные соединения.

7. Упрощение обработки проб: без какого - либо процесса подготовки проб можно проводить непосредственный анализ проб газов, содержащих воду.

III. Сравнение с технологией газовой хроматографии - масс - спектрометрии (GC - MS)

Масс - спектрометрия источников EI и химических генов

Меньшее количество образцов, лучшее отношение сигнала к шуму.

2pg, 100 fg гексафторбензол, полное сканирование, выбор ионов m / z 283.8

IV. Области применения

(i) Производство полупроводников

В основном используется для мониторинга мелких молекулярных химических остатков в производственных цехах и мониторинга окружающей среды вокруг завода. В полупроводниковых производственных линиях раннее обнаружение молекулярных загрязнителей воздуха (AMCs) имеет решающее значение для хорошего качества продукта, и распространенные AMCs включают:

- Молекулярные кислоты (MA) - Молекулярные щелочи (MB) - Конденсируемые молекулы (MC) - Молекулярные легирующие вещества (MD)

(ii) Новые энергетические отрасли

Водород и примеси, используемые в водородных топливных элементах, непрерывно проверяются в режиме онлайн для обеспечения производительности и безопасности батареи.

(3) Медицинская промышленность

Быстрая идентификация микроорганизмов с помощью обнаружения респираторных газов для скрининга людей с высоким риском, таких как диабет, заболевания почек и респираторные заболевания.

(4) Автомобильная промышленность

- Быстрый непрерывный онлайн - контроль расхода моторного масла.

- Динамические испытания выбросов двигателей (особенно в соответствии с национальными стандартами VI)

(v) Экологическая промышленность

Отслеживание окружающей среды VOC

- Оценка воздействия выбросов автотранспортных средств на окружающую среду

- Анализ качества воды

- Оценка качества воздуха в помещениях

(vi) Пищевая и табачная промышленность

- Обнаружение примесей CO2B в напитках - анализ табачных газов - разработка специй и оценка запахов

Список поддающихся обнаружению соединений VOC