Полупроводниковый анализатор AMCТехнические характеристики:

Высокочувствительные методы обнаружения

Технология расширенного спектра поглощения полости (CEAS): чувствительность на уровне ppb (одна миллиардная) достигается с помощью самоисследуемых длинных световых газовых абсорбционных бассейнов и ультра - малошумных лазерных дисков, которые могут точно обнаруживать микрогазовые компоненты, такие как COneneneek и CH, в соответствии со стандартами Всемирной метеорологической организации (ВМО) и Комплексной системы наблюдения за углеродом (ICOS).

Технология масс - спектрометрии времени полета: например, монитор Vocus ABC использует химическую ионизацию времени полета в реальном времени масс - спектрометрию времени, в сочетании с технологией быстрой полярности напряжения и переключения ионов реагента, которая поддерживает режим химической ионизации до шести ионов реагента одновременно и обеспечивает спектральное покрытие нескольких AMC в течение 2 - секундного периода, достигая предела обнаружения на уровне одного ppt (одна триллионная часть).

Мониторинг в реальном времени и быстрое реагирование

миллисекундная спектрометрия и секундная реакция прибора: система может выполнять спектральные измерения в миллисекундах, реагируя на изменения концентрации в секундном диапазоне, подходит для захвата мгновенных колебаний AMC и отвечает строгим требованиям к производительности в реальном времени для производства полупроводников.

Стабильность 24 - часовой непрерывной работы: благодаря высокоточным датчикам и передовым алгоритмам обеспечивается стабильность и надежность данных, работающих в течение длительного времени в сложных технологических условиях, избегая проблем неэффективности ручного режима отбора проб.

Способность к синхронизации с несколькими газами

Возможности многокомпонентного анализа: можно одновременно контролировать десятки видов АМС, таких как кислотные газы (например, HCl, H2SO), щелочные газы (например, NHneneneen) и летучие органические вещества (VOCs), покрывая вещества с различными химическими свойствами и летучими свойствами, избегая ограничений, которые традиционные технологии требуют многократного обнаружения.

Автоматизация и интеграция всего процесса: от отбора проб, обогащения до анализа, хранения, полной автоматизации операций, уменьшения вмешательства человека, повышения эффективности обнаружения.

Интеллектуальный анализ данных и замкнутое управление

Поддержка AI и Big Data: Автоматическая подготовка карт тенденций загрязнения и отчетов об отслеживании источников загрязнения путем глубокого извлечения больших данных, чтобы помочь менеджерам оптимизировать технологические процессы и стратегии управления.

Дистанционный мониторинг и пороговое предупреждение: система имеет функцию удаленного мониторинга, которая может мгновенно сообщать об аномалиях, избегая потери хорошей скорости и формируя замкнутое управление « Мониторинг - анализ - управление - проверка», непрерывно оптимизируя производственную среду.

Антиинтерференционное проектирование и адаптация к окружающей среде

Профессиональная система моделирования жидкости и впуска: уменьшает нестабильность, вызванную воздушным потоком, обеспечивает широкий динамический диапазон измерений, подходит для вибрации, температуры, влажности и других условий среды с большими изменениями.

Немеханическая насосная вакуумная система: отказаться от высокоскоростных вращающихся компонентов, решить проблему многомерной большой вибрации, которая не может быть запущена и обнаружена, повысить экологическую применимость.