трехмерное лазерное записывающее устройствоБлагодаря технологии полифотонной полимеризации (Multi - Photon Polymerization, MPP) осуществляется истинная трехмерная обработка структуры свободной поверхности субмикронного уровня, которая обеспечивает важную производственную платформу для гибридной интеграции кремниевых оптических чипов, фотонных контуров ниобата лития и квантовых оптических устройств.
Основные особенности:
Модуль сверхбыстрой обработки, значительно повышающий эффективность обработки
Высокоточная 3D - обработка, проектирование и обработка любой свободной поверхности сложной конструкции
Совместная фокусировка и флуоресцентные системы обнаружения для достижения высокоточного распознавания местоположения и выравнивания
Автоматизированная трехмерная система определения местоположения с наноточностью
Микроскопическая визуализация и измерение высокой четкости в реальном времени, обработка и обнаружение глобальной системы координат
Лазерная система стабилизации энергии, обеспечивающая последовательность обработки в течение длительного времени
Стол для образцов вакуумной адсорбции, подходящий для различных базовых материалов
Специальные приспособления для волоконно - оптических массивов и фотонных чипов
Автоматическая компенсация мощности лазера, устранение последствий дефектов обработки торца
автоматическое обнаружение и выравнивание наклона фундамента
Визуальное программирование, пользовательский процесс обработки
Период обслуживания ключевых компонентов:
Фемтосекундный лазер: проверка стабильности выходной мощности, ежемесячно, калибровка измерителя мощности ;
Виброзеркальная система: диапазон сканирования и вторичная калибровка, каждые полгода, 140 × 140 мкм² калибровка ;
Система контроля температуры: калибровка источника излучения черного тела датчика, ежеквартально, с точностью ±0,1°C ;
Холодильный модуль: проверка давления хладагента и герметичности трубопровода, еженедельно (жидкий азот), показания манометра
Ежедневный техобслуживание :
Очистка оптических систем:
Используйте безпыльную ткань, окунутую в безводный этанол, чтобы вытереть защитные зеркала, вибраторы и лазерные окна, чтобы избежать царапин покрытия.
При замене защитного зеркала необходимо герметизировать сопло, чтобы предотвратить попадание пыли в световую систему.
Калибровка спортивной платформы :
Ежеквартально проверяется точность повторного позиционирования трехмерной пьезоэлектрической керамической станции (±10 нм), проверяется стандартными калибровочными пластинами.
Для смазки направляющей необходимо использовать специальное нано - смазочное масло, чтобы избежать воздействия частиц на точность движения.