Экспериментальный план

Испытательный образец: образец жидкого фоторезиста в 1 экз.

Испытательные приборы: TGA8000 - Frontier - Clarus 690 / SQ8T, комбинированный модуль для модели TL9000. Все приборы и комбинированные модули были получены из Перкинса Элмера;

• Условия тестирования:

Способ взвешивания образцов и их количество: образец вязкой жидкости удаляется с помощью 10 - мкл переносчика, в общей сложности 3 раза на каждый тест и помещается в керамический добавочный горшок. Из - за большей вязкости образца фактический объем выборки был меньше 30 мкл, а фактическая масса образца определялась тепловым весом.