В производстве полупроводников, упаковке фотоэлектронов, прецизионных испытаниях и других передовых промышленных областях точность и диапазон контроля температуры напрямую влияют на качество и производительность продукта.Полупроводниковое устройство управления температурой Chiller, как основное оборудование управления температурой, может обеспечить экстремальную способность управления температурой от прямого охлаждения при температуре 300 ° C до - 150 ° C, обеспечивая стабильные и точные решения для управления температурой для полупроводниковых процессов, испытаний материалов, экспериментов с высокотемпературным ударом и т. Д.

　　Основные технологии полупроводниковых устройств контроля температуры Chiller

Chiller (Система охлаждения и циркуляции) использует метод охлаждения компрессора + теплообмена циркулирующей жидкости, используя высокоточный алгоритм управления температурой для достижения быстрого подъема и падения с умеренной точностью ±0,1°C. К числу его основных преимуществ относятся:

　　1. Покрытие широким диапазоном температур (- 150°C ~ 300°C)

(1) Высокотемпературный сегмент (300°C): подходит для высокотемпературных процессов, таких как отжиг полупроводника, спекание материала и т. Д., Для обеспечения высокотемпературной стабильности путем циркуляции теплопроводного масла или водного раствора гликоля.

б) Низкотемпературный сегмент (- 150°C): использование технологии комплексного охлаждения или охлаждения с прямым охлаждением (прямое испарение хладагента для теплообмена) для достижения сверхнизкой температуры среды, для удовлетворения полупроводниковых чипов криогенных испытаний, производства инфракрасных детекторов и других потребностей.

　　2. Способность к быстрому изменению температуры

(1) Некоторые устройства Chiller могут завершить температурный сдвиг от - 55 ° C до 150 ° C за 10 секунд и подходят для тестирования надежности чипа, анализа теплового напряжения материала и других сценариев.

(2) Используйте преобразователь частоты компрессор + электронный расширительный клапан, динамически регулируйте количество охлаждения, чтобы обеспечить скорость реакции терморегулирования.

　　3. Высокоточный контроль температуры (0,5°C)

Для изготовления полупроводников требуется точность температурного контроля ± 0,1 °C, и Chiller обеспечивает стабильность процесса с помощью алгоритма управления PID + PT100 / датчика термопары в режиме реального времени.

(2) Некоторые устройства поддерживают многоканальный независимый контроль температуры, который может одновременно контролировать температуру различных технологических полостей без помех друг другу.

　　II. Типичный сценарий применения

　　1. Производство полупроводников

(1) Фотолитограф: Контролируйте температуру источника света и объектива (± 0,05°C), чтобы избежать тепловой деформации, влияющей на точность экспозиции.

б) Изтравление / осаждение: регулирование температуры реакционной полости для обеспечения однородности пленки.

3) Испытание чипа: моделирование среды с широким диапазоном температур от - 40°C до 150°C для проверки надежности чипа.

　　Фотоэлектроника и прецизионные устройства

(1) Лазеры, оптическое волокно: испытание с циклом высокой и низкой температуры для обеспечения стабильности материала.

б) 3D - инкапсуляция: контроль температуры обратного потока сварного олова, оптимизация качества сварки.

3. Материаловедение

(1) Сверхпроводящие материалы, квантовые устройства: температурный контроль от - 150°C до 300°C, изучение изменений в производительности материала при различных температурах.

　　III. Будущие тенденции

По мере того, как полупроводниковый процесс переходит к меньшему процессу и более высокой интеграции, технология управления температурой Chiller будет развиваться в направлении более точного, быстрого изменения температуры и более широкого диапазона температур, что приведет к высокому производству на новые высоты.

Полупроводниковое устройство управления температурой Chiller благодаря своим преимуществам, таким как предельная способность управления температурой, высокая точность и быстрое реагирование, стало ключевым оборудованием, имеющим решающее значение для современной промышленности, обеспечивая надежную защиту контроля температуры в таких областях, как полупроводники, фотоэлектроника и материаловедение.