От принципа к практике: Введение в продукты пассивной виброизоляции TMC

В первых трех статьях мы постепенно раскрываем « завесу » вибрации и виброизоляции: сначала мы признаем, что вибрация является « невидимым убийцей» прецизионного оборудования, а затем освоили метод « медицинского осмотра» вибрации окружающей среды через кривую VC и, наконец, глубоко разобрали принцип пассивной виброизоляции и ключевые параметры. В конце концов, ценность теории должна упасть на практику, сегодня мы фокусируемся на основных пассивных виброизоляционных продуктах TMC, чтобы увидеть, как эти « вибрационные фильтры» преобразуют принцип виброизоляции в реальную стабильность, сопровождение прецизионного оборудования в разных сценариях.

Основываясь на основной логике проектирования пассивной виброизоляции « низкая собственная частота + точное управление демпфированием», TMC целенаправленно разработала аэродинамические виброизоляторы с различными уровнями демпфирования для удовлетворения различных потребностей в виброизоляции в высокоточных областях, таких как полупроводники, оптика и наука о жизни. Будь то фотолитография нанометрового уровня, микрометровое клеточное наблюдение или атомный поверхностный анализ, TMC предлагает индивидуальные виброизоляционные решения.

1.Плавучий виброизолятор Gimbal Piston- Высокопроизводительная виброизоляция.Предпочтительно

Основные технологии:Двойная камераВоздушная пружина низкой жесткости + конструкция прецизионного демпфирующего отверстия

Рисунок нижеПрезентация компании TMC Gimbal Piston Диспетчер для разреза.Используя двухкамерную конструкцию, две камеры соединяются между собой через прецизионные отверстия. Когда поршень движется вверх и вниз, поток воздуха через отверстие создает демпфирующее усилие, для достижения интеллектуального регулирования сильного демпфирования большого смещения и слабого демпфирования малого смещения не только обеспечивает быструю стабильность, но и не влияет на изоляционный эффект вибрации малой амплитуды. Такие виброизоляторы имеют демпферный фактор Q E3 при смещении порядка нескольких миллиметров.

TMCСтандартная воздушная платформа.Gimbal поршень®Воздушный бумВиброизоляция как стандартная конфигурация. В параллельных тестах Gimbal Piston всегда превосходил других.Воздушный бумВиброизоляция. Он обладает отличными низкочастотными виброизоляционными свойствами на всех осях и сохраняет свои характеристики даже при очень низком уровне входного возбуждения. Собственная технология амортизации позволяет Gimbal Piston стабилизировать загрузку и сброс легких полезных нагрузок и быстро устранять помехи на виброизоляционном столеА.

Он обладает незначительными демпфирующими свойствами и обладает высокой чувствительностью к типичным колебаниям земли в условиях низкой амплитуды, в то время как для серьезных переходных помех (таких как внезапные изменения нагрузки или удары кровли) он обеспечивает очень хороший демпфирующий эффект. Результаты показали, что виброизоляция Gimbal Piston обеспечивает виброизоляцию, устраняя практически любые серьезные помехи за считанные секунды. Он также может стабилизировать систему виброизоляции с относительно высоким центром тяжести, не влияя на эффект виброизоляции.

Преимущества:

Вертикальная и горизонтальная виброизоляция от 2 Гц

Вибрация при 10 ГцУменьшениеБолее 95%

Практически нет трения, что позволяет избежать перехода трения качения к статическому трению

Регулируя горизонтальное смещение, выступая в качестве кардана

2. МаксДемп Высокий демпфирующий виброизолятор: двойной резонанс и возмущениеВновь охранять"

Изолятор MaxDamp от TMC использует другой метод: многоосное вязкое гидрозатуханиеВ сепараторе используется синтетическое масло с очень низким уровнем выхлопа и высокой вязкостью, которое запечатано в одной газовой камере сепаратора. Специальная геометрическая структура гарантирует, что сепаратор может затухать вертикальное и горизонтальное движение с одинаковой эффективностью (как в X, так и Y направлениях). Эти сепараторы могут расширить демпфирование до уровня, близкого к критическому, для тех приложений, которые требуют этой характеристики. Изолятор MaxDamp позволяет быстро стабилизировать полезную нагрузку после движения рабочего стола, обеспечивая при этом значительный эффект вибрационной изоляции.Благодаря « высокодемпфирующей конструкции» был найден полный баланс mei между резонансным подавлением и эффективностью виброизоляции. Подходит для высокомощных, высокоскоростных электрических рабочих столов XY, требующих быстрой стабилизации полезной нагрузки.напримерПолупроводниковые детекторы, фотолитографы и другие приборы с относительно мощными электрическими рабочими столами.

Преимущества:

Более быстрое время стабилизации.

Инструменты для производства и тестирования LCD и полупроводников являются более производительными и продуктивными

Виброизоляционная поверхность "жестче", рука более стабильна, сохраняя при этом высокие виброизоляционные свойства

Эффективное подавление вибраций, вызванных воздушным потоком, шумом и « бортовыми » силами

Повышение стабильности и пропускной способности

Модульная конструкция, которая может быть обновлена до активной виброизоляции Electro - Damp

3.Ультрадемпфирующий воздушный плавучий виброизолятор UltraDamp

Компания TMC выпустила более мощный UltraDampПВУ пневмоплавучий виброизоляторПодходит для высокомощных, высокоскоростных электрических рабочих столов XY и других сценариев с высокой динамической нагрузкой. Уровень демпфирования обеспечивает резонансное усиление не более 3 - 5 дБ, широко используется в LCD, PVC - детекторах, фотолитографах и других устройствах

Преимущества:

В сочетании с Gimbal Piston ™ Преимущество воздушных виброизоляторов и чрезвычайно активное демпфирование

Идеально подходит для полезной нагрузки с роботизированным движением или электрическим рабочим столом, который обеспечивает необходимую виброизоляцию и активно стабилизирует движение, вызванное полезной нагрузкой

Более быстрая пропускная способность инструментов и более высокая производительность

Горизонтальная и вертикальная виброизоляция от 4 - 5 Гц

Минимальное усиление резонанса (3 - 5 дБ) модульная конструкция. Обновление до активного амортизации Electro - Damp

производительностьсравнение：GimbalPiston ®、 MaxDamp ® & UltraDamp ™ Сравнение эффективности виброизоляции и уровня демпфирования трех виброизоляторов:

Это воздушные плавучие виброизоляторы с тремя уровнями демпфирования TMC, в зависимости от области применения, TMC предлагает различные спецификации воздушных плавучих виброизоляторовНа ваш выбор.А.

1. Системы поддержки шатунов серии Micro - g

Поддерживающая система Micro - g подходит для большинства оптических платформ и хлебных панелей и предлагает множество вариантов конфигурации, включая высоту, нагрузку, виброизоляцию и многое другое.

л Идеальное сочетаниеОптическая платформа CleanTop и пекарня

л 4 Столбцы / 6 Системы можно выбрать

л Модульная конструкция взаимозаменяемой виброизоляции, поддерживающая гибкое обновление трех уровней демпфирования

л Грузоподъемность - В зависимости от веса вашего рабочего стола и бортового оборудования можно выбрать опорную систему с грузоподъемностью 1400, 4000, 6000, 10000 или 15000 фунтов (600, 2000, 3000, 4500 или 7000 кг соответственно). Настройка системы может быть настроена из стандартных компонентов для поддержки практически любой структуры.

л Множество стандартных высот необязательно, поддержка настройки - семь стандартных высот: 12, 16, 18, 22, 24, 28 и 32 дюйма (30 соответственно)5、 Сорок.6、 Сорок пять.7、 55.9、 Шесть.10、 Семь.11и13мм) - эргономическое расстояние от земли до стола 36 дюймов (900 мм).

л Дополнительные колеса - колеса - Дополнительные колеса TMC имеют прочную и прочную тяжелую конструкцию, которая позволяет легко перемещать установленные рабочие столы. После позиционирования рабочего стола колесо уменьшается для прочного контакта с землей во время работы устройства. Как и другие функции Micro - g, они могут быть интегрированы в устройство с самого начала или приобретены позже, если вы выберете обновление. Колесо уменьшается с внешней стороны на опоре с минимальной несущей способностью и изнутри на опоре со средней несущей способностью, в то время как опора с максимальной несущей способностью не имеет колеса. Столбы высотой менее 18 дюймов без колес.

2. Независимые ноги серии Micro - g

л Независимая установка без балок, более гибкое позиционирование

л Возможность загрузки 500 кг и 1000 кг, более высокая

л Модульная виброизоляция, три уровня демпфирования необязательно

л Стандартная стальная плита для выравнивания

л Несколько стандартных высот необязательно (305 / 406 / 457 / 559 / 610 / 711 / 813 мм)

л Несовместимость с телескопическими колесами

3. применимыйВнутри устройства Micro - gПВУ пневмоплавучий виброизолятор

Воздушные плавучие виброизоляторы серии 62 имеют модульную, взаимозаменяемую и модернизируемую конструкцию и идеально подходят для OEM - приложений.

л Разработан специально для OEM - приложений

л Поддерживает полезную нагрузку в диапазоне от 90 кг до 8200 кг (от 200 до 18 000 фунтов)

л Высокий уровень вибрационного затухания даже в спокойной среде.

л Многоуровневое затухание на выбор

л Управление высотой нескольких версий

л Конструкция виброизолятора взаимозаменяема. Легко приспосабливаться к изменениям спроса, экономя затраты на редизайн

Стандартный выбор моделей:

Выберите TMC: от местного производства до обслуживания в Китае, полное сопровождение

Будучи поставщиком оптических платформ и виброизоляторов в США, TMC, благодаря преимуществам « интеграции проектирования, исследований и разработок и производства», может предоставить конечным пользователям очень гибкие индивидуальные решения. От фундаментальных исследований до промышленного производства, от наук о жизни до производства полупроводников, продукты TMC доказали свою ценность в тысячах лабораторий и заводов по всему миру.

Компания Senquan Optoelectric Ltd. в качестве назначенного агента TMC в Китае с 2009 года продолжает предоставлять клиентам надежные продукты и решения TMC. Мы предоставляем не только продукты, но и техническую поддержку и совершенное послепродажное обслуживание, от тестирования вибрации на месте до проектирования системных решений, от установки и ввода в эксплуатацию до обновления обслуживания, мы всегда работаем с клиентами, чтобы решить проблемы управления вибрацией.

Выбор TMC - это выбор спокойствия и стабильности для вашего точного устройства. Давайте поможем вам создать рабочую среду с нулевыми вибрационными помехами, которая будет сопровождать ваши научные открытия и технологические прорывы.

Если вы беспокоитесь о проблемах с вибрацией или хотите еще больше повысить стабильность устройства, пожалуйста, свяжитесь с нами в любое время. Наша техническая команда предоставит вам профессиональный анализ вибраций и экономически эффективные решения.

Пассивная виброизоляция уже отвечает большинству потребностей, но нам нужны более интеллектуальные решения в передовых областях сверхточного производства и нанометрии. В следующем выпуске мы подробно расскажем об активной виброизоляции..С нетерпением жду!