Серия S300 представляет собой расходомер качества газа, разработанный специально для таких пан - полупроводниковых отраслей, как фотоэлектрические.S300 обладает лучшей стойкостью к загрязнению, пыли и коррозииСексуальная способность, в то же время как удобство обслуживания, высокая рентабельность, короткий срок поставки и другие характеристики.

Цифровые контроллеры потока качества серии S700 с использованием импортных материалов 316Lvv,Использование полупроводников, разработанных компанией самостоятельноКапиллярный датчик расхода и высокоточный датчик давления с высокой точностьюНулевой дрейф и высокая повторяемость.

Высокоточные расходомеры / контроллеры качества газа серии DF500,Продукты серии DF500 с высокой точностью, стабильностью и высокой точностью управленияСила, может быть применена к 7 нм, 14 нм, 28нМ и другие передовые полупроводниковые процессы,Может быть введена в процесс локализации полупроводниковой промышленности.