Недавно, Циндао Zingdao Zinsheng Weina Electronics Technology Co., Ltd.(« Циндао Чжиньшэн») В контроллере потока качества газа (Mass Flow Controller, MFC) был достигнут значительный прорыв, преодолел ключевые технические барьеры, которые долгое время препятствовали развитию отечественных полупроводниковых MFC, успешно разработал два полупроводниковых продукта MFC на основе высокоскоростных пьезоэлектрических пропорциональных клапанов, продукт обладает хорошей точностью, надежностью и в 5 раз большей стабильностью, чем существующие продукты.

　　Зачем развивать полупроводниковый уровень?МФК?

MFC， Контроллер потока массы - это точный инструмент, который может точно измерять и контролировать поток массы жидкости и является ключевым функциональным блоком для обеспечения точности технологического процесса и согласованности продукта. MFC используется во всех аспектах полупроводникового процесса.ВажноеРоль, например, в технологической части процесса (травление, нанесение покрытия и т.д.), используется для мониторинга или регулирования в режиме реального времени расхода компонентов смеси, а также вакуума оборудования для обеспечения точного соотношения смеси газов; В звене очистки материала используется для управления потоком азота в процессе, чтобы обеспечить эффект очистки и сушки; В таких инфраструктурах, как сверхчистые помещения, используются для долгосрочного стабильного контроля чистоты и скорости ветра в окружающей среде. Для обеспечения стабильности процесса производства полупроводников и качества продукции, продукты MFC часто требуют высокой точности, стабильности, надежности и быстрого реагирования.

В последние годы ЯпонияHoriba、 Компании, такие как Brooks в Соединенных Штатах, последовательно запускали пьезоэлектрические керамические пропорциональные клапаны и полупроводниковые продукты MFC на основе пьезоэлектрических пропорциональных клапанов, увеличивая скорость отклика, значительно снижая долгосрочное использование нейтральной энергетической деградации, тепла, утечки воздуха и других проблем. Хотя некоторые отечественные компании достигли хорошего развития, но их продукция по - прежнему использует традиционную технологию электромагнитных пропорциональных клапанов, недостаточная производительность продукта, не может удовлетворить потребности полупроводниковой промышленности в высокой точности, высокой надежности и быстром реагировании. В последнее время высоконадежная и быстро реагирующая высококачественная технология измерения и управления потоком с пьезоэлектрическим приводом монополизирована за рубежом, высокая цена и риск отключения в любое время, что приводит к угрозе безопасности ключевых основных компонентов в важном национальном полупроводниковом оборудовании.

Во время шестилетней китайско - американской торговой войны полупроводниковая промышленность Китая добилась быстрого развития, активизировав независимые инновации, способствуя скоординированному развитию производственной цепочки, активно участвуя в международном сотрудничестве и получая политическую поддержку и финансовые инвестиции. В то же время, с улучшением процесса производства полупроводников и ростом рыночного спроса,Потребность в локализации MFC также будет расти. Поэтому развитие MFC полупроводникового класса и содействие локализации этого основного компонента имеют решающее значение для обеспечения безопасности национальной цепочки полупроводниковой промышленности.

　S700 Внутренняя структура

　　Циндао СилаА?

Циндао фокусируется наТехнология измерения расхода газа, цель становитсяХорошоПоставщики полупроводниковых компонентов. Основная команда компании из Сингапура.A*STAR、 KIT, Университет Цинхуа, Китайская академия наук, Университет Тунцзи, Шаньдунский университет и другие ключевые отечественные и зарубежные научно - исследовательские институты, освоили основные чипы, модули, алгоритмы, системную интеграцию и другие автономные основные технологии всей цепи. В настоящее время компания имеет 23 изобретения, 14 полезных новых моделей, более 50 метрологических сертификатов первого уровня; Возьмите на себя 2 ключевых национальных плана исследований и разработок Министерства науки и техники, 1 ключевой план исследований и разработок провинции Шаньдун (крупный научно - технический инновационный проект); Построена « Объединенная лаборатория измерения и управления датчиками Циндао Циньшэн - Шаньдунского университета», « Ключевая лаборатория технологии измерения и контроля расхода газа в Циндао», « Рабочая станция экспертов по технологии измерения и контроля расхода газа в Циндао», научно - исследовательская платформа, имеет научно - исследовательский цех 800 квадратных метров, производственный цех 4000 квадратных метров, оборудование для калибровки расхода более 100 единиц; Имеет сертификаты управления качеством и производства, такие как IS09001 и IS014001.

Стабильность рынка зависит от надежной гарантии качества продукции. После долгих лет культивирования, Циндао Чжиньшэн сформировалсяСерия S300, серия UT, серия E и другие зрелые и стабильные линии продукции, а также во многих областях, таких как фотоэлектрическая, экологическая и медицинская, для достижения локализованной замены, была единогласно признана рынком. Сегодня добавлены два специальных расходомера для полупроводников S700 и DF500, чтобы начать макет рынка полупроводников. Говоря о преимуществах компании и продукции, основатель компании д - р Тао Цзифан сказал: « Как местная сенсорная компания, преимущества Qingdao Zingsheng в основном включают в себя три момента: во - первых, наша команда достаточно хороша, у каждого есть отличные возможности и богатый опыт; Во - вторых, у нас хорошая экологическая среда, качество и количество продукции не могут быть доставлены без сильной поддержки партнеров по восходящей линии, а клиенты по нисходящей линии поддерживают тесное сотрудничество; Наконец, Qingdao Zingsheng всегда поддерживала интенсивные исследования и разработки и производственные инвестиции, инвестиции в исследования и разработки позволяют нам поддерживать технологиюПродвинутыйПроизводственные ресурсы гарантируют качество нашей продукции. Не скатываться на низкоуровневом рынке - это ключ к нашей сломанной ситуации», - добавил доктор Тао Цзифан.

　　Новый продукт Zingdao будет представлен2024 « Выставка полупроводников и основных компонентов»

　　« Этого далеко не достаточно », говоря о новых продуктах MFC полупроводникового класса компании, д - р Линь, глава научно - исследовательского центра компании Циндао Циньшэн, сказал: « Хотя компания уже занимает место на рынке фотоэлектрических технологий и получила стабильные заказы, наши возможности и цели выходят за рамки этого, мы будем бороться с основными компонентами полупроводникового оборудования один за другим, на этот раз S700 и DF500 являются одним из крупных прорывов».

Две недавно разработанные продукты Циндао Zingdao Zinsheng используют высокоскоростную пьезоэлектрическую пропорциональную клапанную технологию, а также динамическую технологию компенсации колебаний давления,« пьезоэлектрический пропорциональный клапан является основным компонентом управления в MFC, и датчик расхода образует замкнутое кольцо, чтобы реализовать динамическую и быструю регулировку потока газа», - сказал д - р Линь. « По сравнению с основным электромагнитным пропорциональным клапаном в Китае в настоящее время, пьезоэлектрический пропорциональный клапан быстро реагирует, точность управления высока, а также имеет очень низкое энергопотребление и тепловой шум. С 2021 года мы начинаем исследования и разработки пьезоэлектрического пропорционального клапана, в настоящее время реализована конструкция пьезоэлектрической керамической кучи, оптимизация конструкции исполнительного устройства, цельнометаллическое уплотнение и другие ключевые технические решения и программы массового производства, производительность и

Для удовлетворения различных потребностей применения, Циндао Zingdao Zinsheng разработал два разных продукта, разница выглядит следующим образом:

Оба продукта имеют несколько разную направленность, в том числе:DF500 имеет больше преимуществ с точки зрения точности и времени отклика с точки зрения управления малым потоком, подходит для продвинутого процесса 7 нм / 14 нм; В то время как S700 имеет более широкий выбор измерений и рабочую температуру, он подходит для общего процесса. « Оба продукта используют адаптивный динамический алгоритм управления, недавно разработанный компанией, клиенты могут выбирать в соответствии с фактическими потребностями. Оба MFC используют полупроводниковый двойной V - материал и EP - обработку в соответствии с требованиями SEMI», - сказал д - р Линь. - Оба продукта будут представлены на выставке полупроводникового оборудования и основных компонентов 25 сентября, приветствуя новых и старых клиентов для обмена.

　　Резюме:

На полупроводниковом уровнеНа этом треке MFC исследования в Китае начались с опозданием, технологии и продукты подчинены западным странам, что серьезно угрожает целостности цепи и безопасности нашей полупроводниковой промышленности. В настоящее время Zingdao Zingsheng завершил головоломку от 0 до 1, а затем, как лучше достичь скачка от 1 до 100. Рост отечественных производителей, таких как Qingdao Zingsheng, не только представляет собой повышение уровня отечественных технологий, но и указывает на то, что Китай будет более конкурентоспособным в глобальной высокотехнологичной области.