В отличие от традиционного термического контроллера потока массы, который полагается на технические пути косвенного измерения тепловых свойств газа, регулятор потока массы с перепадом давления легкого ламинарного потока использует инновационные принципы для устранения многих болевых точек традиционного оборудования из источника. Его ядро заключается в преобразовании турбулентного газа в стабильное и упорядоченное ламинарное состояние через прецизионные ламинарные элементы, использование высокочувствительного датчика перепада давления непосредственно захватывает разницу давления на обоих концах ламинарных элементов, в сочетании со встроенной динамической компенсацией температуры и давления в реальном времени для достижения точного управления потоком массы. Этот метод измерения, основанный на законах физики, позволяет продукту обладать врожденной стабильностью и надежностью и адаптироваться к технологическим потребностям долгосрочного непрерывного производства полупроводников.

Высокая точность и сильная стабильность являются основными преимуществами адаптивного полупроводникового процесса для скоропортящихся продуктов. В производстве полупроводников небольшие колебания потока газа могут привести к неравной толщине пленки, отклонению графической резьбы и другим проблемам, которые напрямую влияют на хорошую скорость чипа. Контроллер качества и расхода с переменным давлением легкого ламинарного потока, оптимизируя алгоритм проектирования и компенсации ламинарных элементов, обеспечивает высокую точность измерения и повторяемость, может поддерживать стабильные характеристики управления даже в долгосрочной эксплуатации, эффективно избегая проблем с дрейфом точности, вызванных старением компонентов или изменениями окружающей среды в традиционном оборудовании. В то же время его широкие диапазонные характеристики могут покрывать все потребности сцены от крошечного потока до высокой скорости потока, одно устройство может удовлетворить потребности различных технологических звеньев управления потоком, уменьшая сложность конфигурации оборудования.

Высокая адаптивность к окружающей среде и газовая совместимость позволяют легко справляться со сложными условиями производства полупроводников. Полупроводниковый процесс включает в себя не только инертные газы, такие как азот и аргон, но и различные коррозионные газы, а также колебания температуры и давления в технологической среде. Легкость продукции с использованием 316L канала из нержавеющей стали и металлической герметичной оболочки, может выдерживать коррозионную газовую эрозию, поддерживать стабильную работу в широком диапазоне температур и широкого давления, решить некоторые отечественные лабораторные характеристики оборудования, но производительность в заводских условиях не очень хорошая. Его встроенная база данных по нескольким газам поддерживает автономное редактирование пропорций смеси газов, переключая газ без ручной перекалировки, что значительно повышает эффективность и удобство переключения полупроводниковых процессов.

Простые и долговечные характеристики конструкции значительно снижают эксплуатационные расходы полупроводниковых предприятий. Основная сенсорная часть регулятора качества и расхода легкого ламинарного потока не подвержена износу активных компонентов, в основном полагается на статические ламинарные элементы и датчики перепада давления для работы, не только значительно улучшает срок службы продукта, но и снижает частоту отказов. По сравнению с традиционным оборудованием для частой калибровки и обслуживания потребностей, цикл калибровки легкого продукта значительно продлен, рабочая нагрузка на ежедневное обслуживание значительно уменьшилась, что эффективно снижает время простоя оборудования и затраты на транспортировку и обслуживание, соответствует требованиям непрерывного производства полупроводниковых предприятий.

Будучи первым отечественным предприятием, прошедшим сертификацию, связанную с ламинарным перепадом давления, легкость благодаря полностью независимым возможностям исследований и разработок нарушила иностранную монополию, ее продукция была массово применена в отечественных фотолитографных машинах, гравирующих машинах и других производителях головного оборудования, полностью подтвердила ее способность заменять импортные продукты. В контексте автономного управления промышленной цепочкой в качестве национальной стратегии, легко - ламинарный регулятор качества и расхода не только обеспечивает высокорентабельную отечественную программу для полупроводниковых предприятий, но и способствует модернизации отечественной индустрии прецизионных приборов посредством технологических инноваций.

Отечественная замена полупроводниковой промышленности - это долгосрочная борьба, прорыв в основных устройствах является ключевым звеном. Контроллер качества и расхода легкого ламинарного перепада давления с его точным и стабильным, быстрым реагированием, сильной адаптируемостью, долговечностью и простым обслуживанием, стал важной силой в отечественной альтернативной волне производства полупроводников. В будущем, при непрерывной итерации технологий, легкость еще больше укрепит основную конкурентоспособность и обеспечит более сильную поддержку автономного контролируемого и высококачественного развития отечественной полупроводниковой промышленности.