В таких прецизионных областях, как производство полупроводников, система газовых путей IGS, как основной узел для транспортировки газа, имеет строгие требования к контроллеру потока массы. Его характеристики высокой герметичности, высокой точности и высокой интеграции требуют, чтобы оборудование управления потоком соответствовало стабильности, адаптации и точности управления. Контроллер качества и расхода с перепадом давления легкого ламинарного потока, благодаря своим уникальным техническим преимуществам, является идеальным выбором для удовлетворения этих требований.

Точные технологические характеристики газопроводной системы IGS требуют, прежде всего, чтобы контроллер потока обладал высокой точностью измерения и долгосрочной стабильностью. Продукты с разностью давления легкого ламинарного потока основаны на вязкой гидродинамике и принудительно преобразуют газ в стабильное ламинарное состояние с помощью внутренних прецизионных ламинарных элементов, которые используют высокоточные датчики перепада давления для захвата изменений потока. Этот метод измерения избавляется от зависимости от термофизических свойств газа и минимально зависит от колебаний температуры и давления окружающей среды, поддерживая стабильную точность управления в сложных условиях. По сравнению с традиционными термическими продуктами, его основные компоненты имеют более сильную физическую стабильность и не подвержены ослаблению производительности из - за старения или незначительного загрязнения, и нет необходимости в частой калибровке в долгосрочном использовании.

Пространственная компактность является отличительной чертой системы IGS Gas Road, которая предъявляет высокие требования к гибкости установки контроллера потока. Контроллер массы и расхода с разностью давления легкого ламинарного потока нарушает ограничение направления установки, и его принцип измерения зависит от перепада давления и силы вязкости, которые не зависят от гравитации, независимо от вертикальной, горизонтальной или наклонной установки, они могут поддерживать стабильные характеристики. В то же время ламинарный элемент сам по себе обладает мощным выпрямительным действием поля потока, может эффективно рассеивать вихри вверх по течению, не нужно резервировать дополнительный участок прямой трубы, даже если он установлен непосредственно после изгиба или клапана, не влияет на точность, что значительно упрощает интегрированную конструкцию системы, адаптированную к потребностям миниатюризации газового пути IGS.

Газовые системы IGS часто требуют транспортировки нескольких газов или даже смесей, и адаптивность газа контроллера потока имеет решающее значение. Легкость Этот продукт встроен в богатую газовую базу данных, просто введите соответствующие параметры вязкости газа для достижения точного управления, особенно для нестандартных смесей. Его проток изготовлен из коррозионно - стойкого материала, гладкая внутренняя стенка и большой диаметр, не только может выдерживать коррозионный газ, но и не подвержен блокировке, даже если есть небольшое количество жидкости, после простой промывки можно восстановить использование, что значительно снижает затраты на техническое обслуживание. Эта стойкость к загрязнению соответствует требованиям безопасности системы газопроводов IGS для специального контроля газов.

В сложной электромагнитной среде на промышленной площадке требования к стабильности оборудования для системы газовых путей IGS еще больше улучшаются. Продукты с перепадом давления легкого ламинарного потока прошли строгие испытания на электромагнитную совместимость и могут поддерживать стабильную производительность даже в жестких условиях. Его быстрая скорость отклика и многорежимная функция управления, в соответствии с требованиями газового пути IGS в реальном времени, гибко переключает поток массы, объемный поток и другие режимы управления, в то же время поддерживая различные протоколы связи для достижения бесшовной стыковки с системой.