В области точного производства полупроводников, фотоэлектрических и микроэлектронов процесс сушки после очистки кремниевых пластин является жизненно важной частью. Любые остаточные водяные пятна, водяные знаки или загрязняющие вещества могут привести к падению качества всей партии. В качестве основного оборудования для этого звена, преимущества и недостатки производительности напрямую связаны с качеством продукции и себестоимостью производства. Столкнувшись с множеством продуктов на рынке, как избежать « наступить на яму»? Следующие ключевые параметры лежат в основе того, на чем вы должны сосредоточиться при выборе покупки.
Основные движущие силы: двигатель и управление скоростью вращения
Электродвигатель - это « сердце» сушилки, производительность которой напрямую определяет стабильность и срок службы устройства.
Точка укрытия: Остерегайтесь низкокачественных двигателей переменного тока или плохо управляемых двигателей. Такие двигатели, как правило, запускают большой удар, нестабильную скорость вращения, высокую шумовую вибрацию, которая может легко вызвать скрытые трещины или даже фрагменты хрупких кремниевых пластин при высокоскоростном вращении.
Особое внимание уделяется:
1. Тип двигателя: предпочтение отдается бесщеточным двигателям постоянного тока. Он имеет преимущества широкого диапазона регулирования скорости, плавной работы, точного управления, высокой эффективности и длительного срока службы.
2. Режим управления: необходимо поддерживать частотную модуляцию. Отличная сушилка должна иметь функцию медленного запуска и замедления останова, то есть скорость вращения может плавно и линейно подниматься и опускаться, чтобы свести к минимуму влияние механического напряжения на кремниевые пластины.
3.Максимальная скорость вращения: определяется в соответствии с технологическими потребностями. Как правило, более высокая скорость вращения создает большую центробежную силу, эффект сушки лучше, но также учитывает размер и уязвимость кремниевых пластин.
II. Технологическая адаптация: системы контроля температуры и атмосферы
Простая центробежная сила не может избежать проблемы « водяного знака», особенно для кремниевых пластин сверхтонких линий. Таким образом, системы контроля температуры и атмосферы являются стандартными для современных сушилок.
Точка укрытия ямы: « голый машин» только с центробежной функцией. Для требовательных процессов такие устройства после сушки на поверхности кремниевых пластин могут легко образовывать следы воды, которые трудно удалить.
Особое внимание уделяется:
1.Функция нагрева: Имеет ли оборудование нагревательный модуль? Каков диапазон рабочих температур? (Например, комнатная температура ~ 120°C). Умеренный нагрев (например, 50 - 80°C) может эффективно ускорить испарение жидкости, предотвращая медленное высыхание образования водяного знака.
2. Тип атмосферы: Поддерживается ли инъекция инертных газов (например, азота высокой чистоты Nneneneed)? Входящий азот может заменить воздух и кислород в полости, предотвращая окисление поверхности кремния при высоких температурах и влажности, создавая новое загрязнение.
Контроль расхода газа: Существуют ли точные расходомеры газа и системы управления? Стабильный и умеренный поток воздуха является ключом к обеспечению повторяемости процесса.
III. Совместимость и производительность: соответствие размеров полости и корзины цветов
Конструкция полости сушилки определяет, какие продукты она может обрабатывать и сколько она может обрабатывать за раз.
Точка укрытия: размер полости или интерфейс корзины цветов не соответствует существующей производственной линии, в результате чего оборудование не может быть введено в эксплуатацию или нуждается в дополнительной настройке, увеличивая затраты и циклы.
Особое внимание уделяется:
1. емкость и размер полости: Определите размер кремниевой пластины (например, 4 дюйма, 6 дюймов, 8 дюймов, 12 дюймов), которая должна быть обработана, а также тип и количество цветочных корзин / стеллажей. Убедитесь, что внутреннее пространство полости достаточно, и силиконовая коробка не будет вмешиваться в стенку полости после ввода.
Адаптер цветочной корзины: Проверьте, соответствует ли основание цветочной корзины (Adapter), предоставленное устройством, стандартной корзине цветов, используемой на вашем заводе (например, стандартной корзине цветов SEMI). Несоответствие может привести к тряске корзины цветов во время работы, вызывая фрагменты.
Краеугольный камень стабильности: вибрационное и вибрационное равновесие
Вибрация - главный враг силиконового сбрасывателя, который напрямую связан со скоростью обломков.
Точка укрытия: "геодинамическая", когда работает оборудование, или амплитуда вибрации при разных нагрузках сильно различается.
Особое внимание уделяется:
Технология динамического равновесия: спросите производителя, какая технология динамического равновесия используется. Хорошая конструкция обычно использует целостную коррекцию динамического баланса ротора, чтобы гарантировать, что вращающаяся система по своей природе стабильна на высоких скоростях.
Амортизационная система: Проверьте, оснащено ли оборудование высокоэффективными амортизаторами (например, высокопроизводительными амортизаторами или амортизаторами).
Данные о вибрации: требуется, чтобы производитель предоставил данные о вибрационных испытаниях в условиях холостого хода и полной нагрузки и знал свои стандарты вибрации.
Интеллектуальность и надежность: взаимодействие человека и машины и безопасность
Современное производство ориентировано на прослеживаемость, простоту эксплуатации и абсолютную безопасность.
Точка избегания ямы: интерфейс операции сложный и непонятный, технологические параметры не могут быть сохранены, меры безопасности просты.
Особое внимание уделяется:
Системы управления: сенсорный экран PLC + является основным направлением и выбором в настоящее время. Интерфейс должен быть интуитивным и удобным для настройки, хранения и вызова нескольких наборов технологических формул (например: кривая скорости - времени - температуры).
2. Безопасная блокировка: должен быть установлен выключатель защитной блокировки крышки, то есть работающая крышка не может быть открыта, открытая крышка автоматически останавливается. Это самая элементарная безопасность личного оборудования.
Материал и уплотнение: полость и части, контактирующие с технологическим газом и жидкостью, должны использовать коррозиестойкие материалы, такие как нержавеющая сталь (например, 304 или 316L). Хорошая герметичность гарантирует эффект и безопасность сухой атмосферы.