Микроскопический спектрометр толщины пленки - это высокоточный измерительный прибор, основанный на принципах интерференции и спектроскопии света, который в основном используется для измерения толщины пленки, чипа, оптического материала и многослойной пленки без разрушения и контакта, а также для анализа его оптических констант (таких как скорость преломления, коэффициент экстинкции).
Спектральное отражение крошечных областей измеряется микроспектральным методом. Когда свет многократно отражается на передней и задней поверхностях пленки, образуя интерферометрические полосы, спектроскопическая технология разбивает интерферометрические полосы на спектры разных длин волн и измеряет их распределение интенсивности, алгоритмически рассчитывая толщину пленки и оптические параметры.
Микроскопический спектрометр толщины обеспечивает неразрушающее и бесконтактное измерение с помощью интерференционных и спектральных принципов света. Когда свет попадает на поверхность пленки, на передней и задней поверхностях пленки многократно отражаются интерферометрические полосы, спектроскопическая технология разлагает эти полосы на спектры разных длин волн, измеряя распределение спектральной интенсивности и рассчитывая в сочетании с алгоритмом, можно точно получить такие параметры, как толщина пленки (1 нм - 35 мкм), скорость преломления (n), коэффициент экстинкции (k).
Обычно он состоит из оптических систем, систем обнаружения, систем управления и стендов для образцов. Оптические системы включают источники света, спектрометры, зеркальные объективы и т. Д. Для получения и передачи света и фокусирования света на поверхности образца; Системы обнаружения обычно состоят из детекторов и т. Д. Для определения интенсивности отраженного или пропускаемого света; Система управления отвечает за эксплуатацию прибора и обработку данных; Стенд для образцов используется для размещения образцов и позволяет перемещать и находить образцы.

Внимание при использовании
Экологический контроль: избегайте прямых солнечных лучей, высокой температуры и влажной среды и предотвратите влажность или загрязнение оптических систем.
Калибровка и техническое обслуживание: регулярное использование стандартной калибровки образцов, очистка оптических компонентов для продления срока службы.
Обработка образцов: перед измерением убедитесь, что поверхность образца ровна, избегая шероховатости, влияющей на данные альбедо.
Безопасность данных: Выберите модель, которая поддерживает хранение и передачу данных (например, USB, Bluetooth), чтобы облегчить последующий анализ.