Плавучая виброизоляционная платформа - это точное оборудование, использующее сжатый газ (воздух или азот) в качестве поддерживающей и виброизоляционной среды, ядро изолирует вибрацию окружающей среды через газовую пружину и систему демпфирования, обеспечивает стабильную рабочую базу для высокоточных сцен и широко используется в научных исследованиях и промышленности. Основной вывод: основное направление делится на пассивное и активное, обычная сцена отдает приоритет пассивному (высокая рентабельность, простота обслуживания), нанометровая точность или плохая вибрационная среда выбора инициативы (более высокая эффективность виброизоляции); Выбор ядра фокусируется на собственных частотах, пропускной способности и точности поверхности трех основных показателей.
Обслуживание аэродинамической виброизоляционной платформы должно быть сосредоточено на системе источника газа, пневматических подшипниках, уплотнениях и очистке окружающей среды , в том числе ежедневной проверке давления воздуха, регулярной смазке, замене стареющих компонентов и так далее.
Плавучая виброизоляционная платформа образует стабильную газовую пленку между платформой и фундаментом через воздух высокого давления и использует эффект статического давления воздуха для достижения суспензии и виброизоляции. Конкретные процессы заключаются в следующем:
Формирование газовой пленки: источник сжатого газа вводит газ в специальную газовую полость между платформой и основанием, образуя равномерно распределенную * тонкую газовую пленку, которая отделяет основную часть платформы от твердого контакта с базой и значительно снижает эффективность вибрационной проводимости.
Регулирование параметров: оснащен модулем регулирования давления воздуха, в соответствии с электронным микроскопом, лазерным интерферометром и другими потребностями виброизоляции различного оборудования, точным регулированием жесткости и параметров демпфирования газовой пленки для достижения индивидуального управления вибрацией.
Компенсация смещения: некоторые модели интегрированы в высокоточную систему мониторинга и компенсации смещения, с помощью датчика в режиме реального времени захватывает небольшие изменения положения платформы, с пневматическим или электрическим исполнительным устройством для быстрой коррекции отклонения смещения, дальнейшего повышения стабильности работы.
сценарий применения
Сфера применения аэродинамической виброизоляционной платформы постоянно расширяется и в настоящее время применяется в трех основных областях:
Область научных экспериментов: в квантовых запутанных наблюдениях, атомно - силовом микроскопическом обнаружении, калибровке прецизионных оптических элементов и других экспериментах, используется для изоляции наземных вибраций лаборатории и шума периферийного оборудования, обеспечения точности и повторяемости экспериментальных данных, обеспечения стабильной среды для научных исследований.
Медицинская и аэрокосмическая области: в высокополевом оборудовании МРТ, приборе точного обнаружения аэрокосмических компонентов, вибрационной изоляции для обеспечения стабильности работы оборудования, для удовлетворения требований медицинской визуализации с высоким разрешением и точного обнаружения космических компонентов.
Область прецизионного производства: в фотолитографии, оборудование для обнаружения кристаллического круга, центр обработки и другое оборудование для обеспечения точности обработки, чтобы избежать ошибок обработки, вызванных вибрационными помехами.