Полупроводниковая промышленность основана на кремнии и других полупроводниковых материалах, охватывающих интегральные схемы, фотоэлектрические устройства и другие области, из которых интегральные схемы составляют более 80%. Отрасль имеет строгий спрос на сверхчистую воду, качество воды напрямую влияет на качество и производительность производства, мониторинг сверхчистой воды стал ключевым звеном.
Текущий стандарт полупроводниковой сверхчистой воды намного превышает самые высокие требования к электронной воде национального стандарта, основные показатели включают: удельное сопротивление должно достигать 18,2 МЭ (25°C) выше, чтобы обеспечить очень низкое содержание ионов; TOC (общий органический углерод) контролируется ниже 0,5 ppb, избегая воздействия на точность фотолитографии; Частицы размером более 0,05 микрона не более 100 частиц на литр; Растворимый кислород должен быть меньше 1 ppb, чтобы предотвратить окисление ионов металлов.
Сверхчистая вода применяется к полному производственному процессу, такому как промывка кристаллической окружности, фотолитография, охлаждение с травлением, механическая полировка, а также для охлаждения оборудования и лабораторных исследований и разработок. При мониторинге частицы обнаруживаются с помощью счетчика жидких частиц, TOC、 Сопротивление, растворенный кислород и т. Д. Мониторинг в режиме реального времени с помощью онлайн - электрохимических приборов, в сочетании с интегрированной системой для достижения динамического управления качеством воды.
Периодичность мониторинга зависит от изменения производственных потребностей и качества воды и требует периодического отбора проб. Сверхчистая вода обрабатывается водопроводной водой через многоступенчатую обработку, такую как ACF, UF, RO, EDI, а затем TOC опускается ниже 1 ppb с помощью устройства TOC - UV.
По мере уменьшения размеров и повышения точности полупроводниковых компонентов требования к качеству воды продолжают улучшаться. Промышленность реагирует на более жесткие проблемы, повышая точность тестирования и применяя новые технологии, такие как дистанционный мониторинг, чтобы уменьшить производственные потери, вызванные проблемами качества воды, и обеспечить хорошие показатели продукции.