Микроскопический спектрометр толщины пленки является высокоточным оптическим измерительным прибором, который в основном используется для неразрушающего, бесконтактного измерения толщины пленки, кристалла, оптического материала и многослойной пленки, а также для анализа его оптических констант (таких как скорость преломления, коэффициент экстинкции). На основе световой интерференции и спектроскопии. Когда свет попадает на поверхность пленки, он несколько раз отражается между передней и задней поверхностями пленки, образуя интерференционные полосы. С помощью спектроскопической технологии эти интерферометрические полосы распадаются на спектры различных длин волн и измеряют распределение их интенсивности, а затем используют соответствующие алгоритмы для расчета толщины пленки, скорости преломления и других параметров.
Микроскопический спектроскопический толщиномер измеряет абсолютное отражение в крошечных областях с помощью микроспектрального метода. Когда свет попадает на поверхность пленки, происходит отражение и пропускание, и свет несколько раз отражается на передней и задней поверхностях пленки, образуя интерферометрические полосы. Технология спектроскопии разлагает эти интерферометрические полосы на спектры различных длин волн и измеряет их распределение прочности, рассчитывая таким образом такие параметры, как толщина пленки, скорость преломления (n) и коэффициент экстинкции (k).
особенность
Высокоточные измерения: использование точных алгоритмов для достижения субнанометровых измерений толщины пленки для обеспечения точности и надежности результатов. Удовлетворение потребностей в измерениях пленок различной толщины.
Бесконтактное измерение: в процессе измерения не требуется прямого контакта с образцом, чтобы избежать повреждения образца внешними силами и защитить целостность образца. Применяется для измерения ценных или уязвимых пленочных материалов (например, полупроводниковых кристаллов, оптических покрытий).
Быстрые измерения и отображение в реальном времени: время измерения до 1 секунды / точки, поддержка высокоскоростного автоматизированного сканирования, повышение эффективности обнаружения. Показывать данные о толщине мембраны в реальном времени, чтобы облегчить быстрый анализ.
Широкий диапазон волн и многослойный мембранный анализ: оптическая система покрывает ультрафиолетовый диапазон до ближнего инфракрасного диапазона (например, 230 - 1600 нм) и адаптируется к спектральным характеристикам различных материалов. Поддерживает многослойный анализ мембранной структуры, который одновременно измеряет толщину многослойной пленки и оптическую константу.
Удобный для пользователя дизайн: с простым в анализе программным мастером, даже первоначальный пользователь может быстро завершить анализ оптических констант. Независимые измерительные головки поддерживают потребности клиентов и адаптируются к сценариям онлайн - мониторинга на различных производственных линиях.