Университет электронных технологий приобрел несколько плазменных устройств, в том числе PLUTO - T Plasma очиститель, PLUTO - MD Plasma Declay машина и т. Д., С хорошей обратной связью пользователей.

Основные виды применения: удаление кристаллического круглого фоторезиста, удаление органических веществ с поверхности электронных полупроводниковых образцов, обработка поверхности многофункционального широкополосного поглотителя с микронаноструктурой и т.д.