Плутон30Это полностью функциональная плазменная система, разработанная специально для разработки,13,56 МГцРадиочастотные генераторы и автоматически согласующиеся сетевые источники генерируют однородную плазму во всей области процесса.Плутон30Вакуумные камеры могут поддерживать до7Одна регулируемая стойка для образцов для размещения образцов различных форм и размеров.Плутон30Имеет несколько электродных настроек, которые можно настроитьРИЕиПЭКВДМодель расширяет сферу применения системы, обеспечивая пользователям хорошую гибкость.

Преподаватели кафедры высоких молекул Фуданьского университета надеются использовать это оборудование для экспериментов с плазменной химической реакцией, то есть использовать плазму, генерируемую устройством, для химической реакции с веществами в вакуумной полости при закрытии вакуумного насоса и газового клапана, а затем получить новое вещество после химической реакции. Этот эксперимент требует точного управления плазменным оборудованием и высоких требований к удерживающей способности истинной полости. После нескольких исследований клиент выбрал наш отдел.ПлутонСерияПлутон30Системы обработки плазменных поверхностей.

Область применения:

Активация поверхности

Увеличение энергии поверхности для повышения вязкости материала: склеивание штампа предварительного давления; Соединение предоварочных проводов

Повышение текучести поверхностных коллоидов: предварительное формование; Перевернутый чип переполнен

Поверхностная шероховатость и травление

Снижение поверхностного напряжения, улучшение поверхностного сцепления

Озеленение и очистка поверхности

Плазменное травление Plasma (с конфигурацией RIE)

Материалы диэлектрика / III - IV

Наномасштабное покрытие (оснащенное устройством для транспортировки жидких прекурсоров)

Водостойкое нанопокрытие: обработка поверхности печатных плат

Антикоррозионные нанопокрытия: медицинские устройства, медицинские имплантаты