высоковакуумный магнитно - управляемый испарительный плёночный прибор с магнитным распылением используется в вакуумной среде с помощью технологии магнитного распыления и метода испарения для подготовки тонкой пленки, в основном для полупроводниковых материалов, оптических элементов и других областей. А
Характеристики производительности
Высокое качество пленки: плотность пленки, сильное сцепление, осаждение с магнитным управлением, может точно контролировать толщину и состав пленки; Вакуумное испарение может обеспечить осаждение пленки высокой чистоты, в сочетании с которой может быть подготовлена пленка с хорошей производительностью, например, оптическая пленка, пленка электронного устройства и другие аспекты имеют хорошие прикладные результаты.
Обширный спектр покрытых материалов: может обрабатывать металлы, сплавы, соединения, полупроводники и другие материалы, как с помощью магнитного распыления, осаждающего металлы с высокой температурой плавления, сплавы и соединения пленки, так и с помощью вакуумного испарения, осаждающего чистые металлы, органические вещества и другие пленки.
Сильная технологическая гибкость: различные процессы покрытия, такие как одноцелевое распыление, многоцелевое совместное распыление, реактивное распыление, испарительное покрытие и процесс их соединения, могут быть реализованы путем регулировки мощности магнитного распыления, давления газа, расстояния целевой базы, а также температуры нагрева и скорости испарения вакуумного испарения.
область применения
Электронная область: подготовка электродов, межсоединений, блокирующих слоев, используемых для подготовки полупроводниковых чипов, а также прозрачных проводящих мембран плоских дисплеев, оптических диэлектрических мембран и т. Д. Такие как прозрачные электроды оксида индия и олова, медные межсоединения и т. Д.
Оптическая область: Может быть подготовлена оптическая пленка, такая как проницаемая пленка, фильтрующая пленка, отражающая пленка, для улучшения оптических характеристик оптических элементов, таких как лазерные устройства, солнечные батареи, оптические объективы и т.д.
Механическая область: осаждение твердого износостойкого покрытия, самосмазывающегося покрытия и т. Д., На поверхности формы, подшипника и т. Д., Чтобы улучшить его твердость, износостойкость и срок службы.
Область декора: используется для нанесения металлической пленки, легированной пленки, цветной пленки и других поверхностей, таких как внешние и внешние аксессуары автомобиля, корпус электронной продукции, ювелирные украшения и т. Д., Чтобы улучшить эстетику и декоративность продукта.