1. Повседневная уборка

После каждого процесса необходимо немедленно очистить поверхность нагревательного стенда от остатков. Используйте высокочистую пылевую ткань, окунутую в электронный ацетон или изопропанол, мягко протрите столешницу и удалите фоторезист, металлические остатки или частицы. Запрещается царапать жесткими инструментами, чтобы не поцарапать точную зону контроля температуры или не повредить поверхностное покрытие. Для упрямых остатков их можно комбинировать с ультразвуковой очисткой (если разрешается демонтаж) или специальной дегельминтизацией. После очистки убедитесь, что сушка снова введена в эксплуатацию.

II. Температурная калибровка

Каждые 1 - 3 месяца или после кумулятивной работы в течение 200 часов должна проводиться калибровка температуры. Используя измеренные и сертифицированные высокоточные поверхностные термометры (например, инфракрасные термометры или термопары - зонды), сравнительные измерения проводятся в нескольких ключевых точках на столе (центр, край, четыре угла) для составления карты распределения температуры. При обнаружении перепада температур, превышающей допустимый технологический диапазон (обычно ±1°C), необходимо выполнить многоточечную коррекцию через систему управления или связаться с производителем для настройки параметров PID. Регулярная калибровка может эффективно предотвратить технологические отклонения, вызванные старением термопар или неравномерным нагревом.

Проверка нагревательных элементов и датчиков

Каждые полгода проверяйте нагревательную проволоку или керамический нагревательный модуль на наличие следов разрушения, окисления или местного перегрева; Наблюдайте, находится ли датчик управления температурой (термопара или RTD) в хорошем контакте без ослабления. Если вы обнаружите, что производительность элемента снижается, вы должны своевременно заменить оригинальные заводские аксессуары, чтобы избежать повреждения кристаллического круга или вызвать аварию безопасности из - за местного перегрева.

IV. Сохранение плоскости и адсорбционных свойств

Для нагревательных стендов с функцией вакуумной адсорбции регулярно проверяйте, не засорены ли вакуумные отверстия, и очищайте их обратной продувкой сжатым воздухом. Проверьте выравнивание поверхности стола, используйте оптическую плоскость или индикатор для измерения, если деформация превышает стандарт, необходимо измельчить и отремонтировать. Убедитесь, что вакуумное уплотнительное кольцо не стареет, не трескается и, при необходимости, заменяется для поддержания равномерной адсорбционной силы и предотвращения искривления или скольжения кристаллического круга.

V. Проверка электрических и контрольных систем

Проверьте, ослаблены ли провода питания, зажимы, окислены ли; Подтвердите надежное заземление, чтобы предотвратить накопление статического электричества. Проверьте, нормально ли реагирует программа контроля температуры, защита от перегрева и функция сигнализации. Избегайте колебаний напряжения, влияющих на стабильность контроля температуры.