В качестве ключевого оборудования в производстве полупроводников, упаковке микроэлектронов и обработке прецизионных материалов вакуумный плазменный дегельмитатор, его стабильность и повторяемость процесса напрямую связаны с хорошей производительностью и стоимостью продукта. Для обеспечения того, чтобы оборудование находилось в оптимальном рабочем состоянии в течение длительного времени, продлевало срок его службы и гарантировало стабильные и надежные результаты процесса, крайне важно внедрить научную и строгую систему сохранения. Ниже подробно описывается режим обслуживания вакуумного плазменного дегельминта из четырех аспектов: ежедневный, регулярный, критический компонент и длительный отказ.

I. Повседневное сохранение основ: предотвращение до возникновения опасности

Ежедневное обслуживание является первой линией защиты для поддержания стабильности оборудования, в основном выполняемой операторами оборудования в производственном зазоре.

1. Чистка и визуальный осмотр:

Внешняя часть оборудования: до и после ежедневного использования, окуните небольшое количество изопропилового спирта (IPA) или деионизированной воды, чтобы вытереть внешние поверхности оборудования, окна наблюдения и панели управления, удалить пыль и пятна и сохранить чистоту. В то же время проверьте, есть ли явное повреждение корпуса оборудования, блокировка устройства нормальная.

Закрытие дверей технологической камеры: перед каждой открытой дверью проверяется и очищается уплотнительное кольцо из фтористого или силиконового каучука на двери полости. Аккуратно протрите ИПА, окунув его в пыль, и удалите мелкие частицы с него, чтобы убедиться, что нет остатков, повреждений или деформаций. Хорошее уплотнение является основой для поддержания высокого вакуума.

2. Мониторинг состояния работы:

Вакуумная система: регистрация времени вакуума для каждого процесса. Если обнаруживается значительное увеличение времени вакуума, это может означать наличие вакуумной утечки или снижение производительности механического насоса, о чем необходимо своевременно сообщать.

Технологические параметры: внимательно следить за тем, стабильны ли ключевые параметры, такие как отражение мощности радиочастоты (RF), расход газа, давление в камере и другие в процессе. Аномальные колебания часто являются предвестниками старения компонентов.

Система охлаждения: Проверьте манометр и расходомер системы циркуляции охлаждающей воды, убедитесь, что значения находятся в нормальном диапазоне, и касание подтверждает, что водопровод не имеет аномального нагрева, чтобы обеспечить эффективное охлаждение источника радиочастоты и камеры.

Периодическое профилактическое обслуживание: систематические медицинские осмотры

Регулярное техническое обслуживание должно выполняться профессиональным инженером по техническому обслуживанию в зависимости от времени работы оборудования и рекомендуемого производителем цикла (обычно ежеквартально или ежегодно).

1. Глубокая очистка технологической камеры:

Частота: выполняется каждые 200 - 400 часов работы или при обнаружении снижения технологических результатов (например, скорости удаления клея, однородности).

Метод: демонтаж подвижных частей в камере, таких как электродные пластины, несущие столы, экранирующие крышки и так далее. Для очистки самого себя используйте специальную абразивную пасту, наждачную бумагу или плазму, чтобы удалить остатки полимеров и побочные продукты реакции, прикрепленные к поверхности. Для стойких пятен может быть использовано химическое погружение (например, использование специальных моющих средств, таких как N - метилпирролидон, с учетом безопасности), а затем промывание и сушка деионизированной водой. Основные принципы: Избегайте использования жестких царапин и предотвратите царапины на внутренней стенке камеры и электродах, которые могут стать источником загрязнения частицами и повлиять на однородность плазмы.

2. Техническое обслуживание вакуумных систем:

Механические насосы:

Проверка и замена насосного масла: ежемесячная проверка цвета и уровня масла механического насоса. Чистый янтарь является нормальным, и если он становится темно - коричневым или молочно - белым, это указывает на то, что масло загрязнено или попадает в воду, его необходимо немедленно заменить. В зависимости от частоты использования масла и масляные фильтры обычно заменяются каждые 500 - 1000 часов или каждые полгода.

Замена выхлопных фильтров: регулярная замена выхлопных фильтров механических насосов для предотвращения диффузионного загрязнения окружающей среды или вакуумных трубопроводов нефтью, газом и твердыми частицами.

Вакуумный регулятор: Регулярно калибруйте конденсаторный тонкопленочный калибр (CMG) и т. Д. Чтобы обеспечить точные показания давления.

Обнаружение утечки: использование гелиевого масс - спектрометра для периодического обнаружения утечки всей вакуумной системы для обеспечения герметичности системы.

3. Техническое обслуживание системы газопроводов:

Газовые фильтры: замена фильтров частиц перед входом в газовый источник и высокочастотным электромагнитным клапаном, чтобы предотвратить попадание примесей в камеры и клапаны, как правило, каждые полгода или год.

Контроллер потока массы (MFC): MFC является ключевым компонентом для управления точным потоком технологических газов. Необходимо регулярно вводить стандартный газ для калибровки, чтобы обеспечить его точность. Если он не используется в течение длительного времени, следует поддерживать его внутреннюю азотную продувку, чтобы предотвратить блокировку.

4. Проверка радиочастотных (RF) систем:

Техническое обслуживание согласующего устройства: Проверьте электроды переменной емкости в согласующем устройстве на наличие следов возгорания или загрязнения и очистите их. Убедитесь, что его двигатель работает нормально и может быстро и точно достичь соответствия сопротивления.

Радиочастотные кабели и соединители: Проверьте, есть ли признаки ослабления, старения или повреждения радиочастотных кабелей и соединительных головок, чтобы убедиться, что соединение надежно и чтобы отражение энергии не повредило радиочастотный генератор.

III. Специальное обслуживание и замена ключевых компонентов

Некоторые компоненты относятся к расходным материалам, их состояние напрямую определяет качество процесса, необходимо сосредоточиться на мониторинге и своевременной замене.

1.Вакуумное уплотнительное кольцо: при длительном пребывании при высоких температурах, плазменном облучении и механическом давлении уплотнительное кольцо стареет и теряет эластичность. Рекомендуется систематически заменять все основные уплотнительные кольца каждые 1 - 2 года или когда обнаруживается, что вакуум не поддерживается (двери полости, окна наблюдения, подача электродов и т.д.).

Окно наблюдения: кварцевое или алюминиевое окно наблюдения постепенно размывается при плазменной бомбардировке, что влияет на точность конечной системы обнаружения. Когда светопроницаемость значительно снижается, необходимо полировать или заменить.

3.Насос масла с фильтром: строго следовать циклу замены, который является вакуумной системы здоровой работы "крови" и "почек".

IV. Сохранение в период длительного простоя

Если оборудование должно простаивать более месяца, оно должно быть опечатано.

1. Камерная защита: После очистки и высыхания технологической камеры наполняйте сухим азотом высокой чистоты до чуть более атмосферного давления и закрывайте все клапаны, чтобы предотвратить поступление воздуха и влаги.

2. Защита вакуумной системы: выключить механический насос, опорожнить масло насоса и после промывки новым маслом ввести новое масло. Или регулярно (например, каждые две недели) запускать механический насос, работающий полчаса, чтобы сохранить его смазку и уплотнение.

3. Отключение электричества и пылезащита: отключите основной источник питания (за исключением необходимых подсистем поддержки) и прикройте устройство пылезащитным колпаком.