Вакуумная плазменная машина для удаления клея широко используется в полупроводниковой упаковке, микроэлектронике и других областях, ее неисправность напрямую влияет на эффективность производства и качество продукции. Ниже приведены наиболее распространенные неисправности, основанные на принципах оборудования и практическом опыте:

Отказ вакуумной системы

- Недостаточный вакуум или невозможность вакуума

- Старение уплотнений: проверьте, изношены ли уплотнительные кольца дверей полости, кольцо типа О на стыке трубопровода, и своевременно замените деформированное или треснувшее уплотнение.

- Аномальные вакуумные насосы: Наблюдайте за звуком работы насосной группы и уровнем масла, если механическое насосное масло эмульгируется или молекулярный насос подается неправильно, необходимо заменить смазочное масло или отремонтировать насосную группу.

- Утечка в газопроводе: обнаружение газопроводов с помощью гелиевого масс - спектрометрического течеискателя с уделением особого внимания декомпрессионным клапанам, расходомерным соединениям, закреплению ослабленных соединений или замене поврежденных трубопроводов.

- Ошибка срабатывания вакуумной сигнализации.

- Калибровка дрейфа датчиками давления: стандартный вакуумметр регулярно сравнивает значения отображения оборудования, и при ошибке более ±5% датчик необходимо повторно откалибровать.

II. Отказ радиочастотной (RF) системы

- Плазма не генерируется.

- Повреждение радиочастотного источника питания: измерение выходного сигнала радиочастотного источника и возвращение на завод для ремонта, если выход мощности отсутствует; Если тест на ложную нагрузку является нормальным, необходимо проверить, ломается ли радиочастотный кабель или окисляется соединение.

- Отказ согласующего устройства: отрегулируйте параметры емкости / индуктивности автомата, если двигатель застрял или шестерня изношена, необходимо разобрать коробку согласования, чтобы очистить накопление углерода и заменить поврежденные детали.

Плотность плазмы низкая или нестабильная.

- Загрязнение электродами: демонтаж верхних и нижних электродных пластин, протирание поверхностных остаточных коллоидов безводным этанолом, чтобы избежать накопления органических веществ, приводящих к неравномерному разряду.

- Недостаточная чистота газа: обнаружение давления аргона, кислородного баллона, замена источника газа при чистоте газа ниже 99,99% и очистка примесей внутри контроллера массы и расхода.

III. Необычные технологические эффекты

- Неэффективное удаление клея.

- Неправильная настройка параметров: регулировка мощности (обычно 60 - 120 Вт) и времени (30 - 120 секунд) в соответствии с толщиной коллоида, например, толстый фоторезист должен увеличить соотношение кислорода до 80% для увеличения скорости химической реакции.

- Загрязнение полости: Периодическая очистка стенда - носителя ультразвуком изопропилового спирта для удаления отслаивающихся частиц клея, чтобы предотвратить вторичное осаждение, влияющее на эффективность обработки.

- Повреждение поверхности материала

- Чрезмерное травление: снижение радиочастотной мощности ниже порога или сокращение времени обработки; Для чувствительных устройств применяется импульсный режим (коэффициент пустоты составляет 70%) для уменьшения накопления тепла.

IV. Сбои в работе оборудования и систем управления

- Устройство не запускается.

- Переключатель аварийной остановки не сброшен: проверьте, всплывает ли красная кнопка аварийной остановки на панели управления, поверните по часовой стрелке, чтобы разблокировать и перезапустить питание.

- Отказ реле: измерить выходное напряжение цепи управления и заменить элемент того же типа, если контакт реле прилипает.

- Поток газа вышел из - под контроля.

- Электромагнитная засоренность клапана: демонтаж газового фильтра, обратная продувка фильтра азотом высокого давления, прямая замена нового фильтра при сильной засоренности.

Устранение неполадок вакуумного плазменного дегельминта требует сочетания вакуумной технологии, радиочастотной инженерии и технологического опыта. Создание механизма « профилактическое обслуживание + быстрая диагностика» может значительно повысить скорость движения урожая оборудования.