МФК(Контроллер потока массы газа) - это точный прибор, способный точно измерять и контролировать поток массы газа. Его основные принципы основаны на технологии измерения тепловой проводимости или перепада давлений, с помощью датчиков и контрольных клапанов для достижения высокоточного и быстро реагирующего регулирования потока, широко используются в полупроводниковом производстве, химической промышленности, фармацевтике, мониторинге окружающей среды и других областях.

　　МФКОбласти применения:

Производство полупроводников

Точный контроль потока газа в химических процессах осаждения в газовой фазе (CVD), травления, диффузии и т. Д. Для обеспечения качества чипа. Например, управление потоком реакционных газов, таких как силан, для обеспечения однородности осаждения пленки.

Химическое производство

Оптимизация условий реакции, повышение эффективности производства. Например, контроль потока реакций для контроля скорости и эффективности химических реакций.

Фармацевтическая промышленность

Обеспечение точности и надежности поставок асептических газов. Например, контролировать поток лекарств или газов, чтобы обеспечить нормальную работу медицинского оборудования.

Экологический мониторинг и управление

Мониторинг потока газа в атмосфере в режиме реального времени обеспечивает поддержку данных для оценки качества воздуха, отслеживания источников загрязнения и контроля за загрязнением. В экологически чистом оборудовании, таком как обработка выхлопных газов и очистка воздуха, точно контролируется расход газа в процессе обработки, чтобы обеспечить оптимальный эффект обработки.

Другие области

Контроль качества и расхода топлива в котлах и крекинговых печах; Измерение потока качества нефтехимических, нефтедобывающих, факельных газов; Контроль качества воздуха в печах сгорания; Переработка пищевых продуктов, контроль хлора на водных заводах и т.д.