В настоящее время быстрое развитие фотоэлектрической и полупроводниковой промышленности, монокристаллический кремний как основной базовый материал, производительность его подготовительного оборудования напрямую определяет качество материала и эффективность производства. Монокристаллическая кремниевая печь (полностью автоматическая монокристаллическая печь с прямым натяжением) в качестве ключевого оборудования для подготовки монокристаллического кремния, в азотной, аргонной и других инертных газовых средах, поликристаллическое кремниевое сырье при высокой температуре плавления выше 1450 °C, через метод прямого натяжения для культивирования стержней без дислокации монокристаллического кремния, широко используется в интегрированных электрических сетях, солнечных элементах, фотоэлектрических устройствах и других областях. Чтобы реализовать точное управление газовой средой в печи, контроллер потока качества газа (MFC) стал основным устройством для стабильной работы монокристаллической кремниевой печи, Сучжоу Айтаоли благодаря техническому накоплению в области измерения и контроля потока глубокой обработки, запуск продукта MFC стал ключевым вспомогательным решением в производстве и производстве монокристаллической кремниевой печи.

Рабочая среда монокристаллической кремниевой печи требует высокой точности и стабильности управления потоком газа: печь должна поддерживать вакуум около 2,6 кПа, колебания потока защитного газа, такого как аргон, напрямую влияют на качество кристаллизации монокристаллического кремниевого стержня и даже приводят к дефектам кристаллического стержня. Традиционное измерительное оборудование для измерения расхода уязвимо для изменения давления, температуры, требует частой коррекции параметров, а MFC в Айтаоли, Сучжоу, преодолел это техническое узкое место - он сочетает в себе функцию измерения расхода и управления замкнутым контуром, встроенную высокоточную схему обнаружения и клапан регулирования расхода, которая может автоматически отслеживать заданные значения расхода при давлении аргона и колебаниях температуры окружающей среды и оставаться стабильной без дополнительной коррекции температуры и давления, что в основном гарантирует согласованность газовой среды в монокристаллической кремниевой печи.

Для применения монокристаллической кремниевой печи, Suzhou Aitoli индивидуализированная разработка продуктов MFC, оснащенных самостоятельно разработанными датчиками потока и саморазвивающимися высокоточными пропорциональными клапанами, может гибко адаптироваться к азоту, аргону, гелию и другим монокристаллическим кремниевым печам, обычно используемым для измерения и контроля инертных газов. Адаптационный диапазон рабочего перепада давления продукта охватывает 0 - 1 МПа, диапазон может быть гибко выбран между 1 мл / мин и 200 л / мин, а также обеспечивает широкий спектр аналоговых сигналов, цифровых способов передачи сигналов, бесшовную стыковку с компьютерной системой управления монокристаллической кремниевой печью, для достижения передачи данных потока в режиме реального времени и дистанционного регулирования.

В механической адаптации стандартные соединения Suzhou Aitoli MFC поддерживают два картриджа, VCR и другие типы интерфейса, а также могут быть настроены в соответствии с потребностями производителей монокристаллического кремниевого печного оборудования, что значительно снижает сложность интеграции оборудования и последующего обслуживания. В дополнение к монокристаллической кремниевой печи, этот MFC также хорошо работает в физическом газофазном осаждении (PVD) химического осаждения в газовой фазе (CVD) оборудования, благодаря высокой температурной адаптации, высокой точности и высокой разрешающей способности измерения и управления, может точно управлять потоком реакционного газа, способствовать высокочистому росту полупроводниковых материалов, оптических элементов (лазерные кристаллы, оптическое волокно и т.д.).

С непрерывным ростом установленной мощности фотоэлектрических установок и непрерывным обновлением процесса производства полупроводниковых чипов рыночный спрос на монокристаллические кремниевые материалы открыл взрывной рост, а техническое обновление монокристаллического кремниевого печного оборудования также вступило в период ускорения. Сучжоу Айтаоли всегда был « точным измерением и контролем» в качестве ядра, опираясь на самостоятельно разработанные технологии датчика потока и индивидуальные решения, для основного оборудования в области фотовольтаики и полупроводников, чтобы обеспечить стабильную и надежную поддержку управления потоком газа, стать технологическим партнером в производственной цепочке производства монокристаллического кремния. В будущем Сучжоу Айтаоли также будет продолжать углублять потребности в измерении и контроле новых источников энергии и полупроводникового оборудования, внедрять больше продуктов управления потоком, адаптированных к производственным сценам, и содействовать автономному развитию отечественной промышленности оборудования.