1. Контактный (метод механического зонда)

Это самый фундаментальный принцип. Высокоточный зонд прибора медленно соприкасается с поверхностью образца, перемещается от основания к верхней части мембраны и непосредственно измеряет фактическую толщину мембраны через разницу в высоте, воспринимаемую зондом. Преимуществом является высокая точность, подходящая для толстых пленок (например, металлических пленок, покрытий), но может слегка повредить поверхность образца.

2. Оптическая формула (метод отражения / преломления)

Работа с отражающими или интерференционными свойствами света также является очень распространенным типом настольных стилей. После того, как свет попадает на поверхность мембраны, происходит одновременное отражение верхней поверхности мембраны и отражение границы между мембраной и фундаментом, а два луча отражающего света создают интерферометрические полосы. Анализируя интервал, прочность и другие параметры интерференционных полос, прибор автоматически вычисляет толщину мембраны в сочетании с оптическим коэффициентом преломления мембраны. Подходит для тонких пленок (например, оптических, полупроводниковых пленок), бесконтактная форма не повреждает образец.

3. Реагирование на вихревой грипп

В основном для проводящих мембран (например, металлических пленок). Зонд прибора создает переменное магнитное поле, которое создает вихри внутри мембраны, когда магнитное поле приближается к проводящей мембране, которая, в свою очередь, влияет на магнитную силу зонда. Толщина мембраны различна, интенсивность вихря также различна, прибор автоматически преобразует толщину мембраны путем обнаружения изменения магнитного поля. Подходит для быстрого обнаружения металлических пленок, проводящих покрытий, бесконтактных и эффективных.