В качестве основного оборудования для преобразования жидкой воды в водяной туман микронного класса, его эксплуатационные спецификации напрямую связаны с сроком службы оборудования, точностью испытаний и безопасностью окружающей среды.

Система технического обслуживания распылителей чистой воды: иерархическая стратегия управления:

1. Ежедневное техническое обслуживание требует выполнения « системы пяти проверок»: проверка изоляционного слоя линии электропитания, проверка уплотнительного кольца дымовой трубы, проверка датчика уровня воды, проверка распылительного сопла, проверка дренажного клапана. Раз в неделю необходимо проводить глубокую очистку, после чего распылительную камеру демонтируют и погружают в раствор белого уксуса 1: 3 в течение 30 минут, что позволяет удалить более 98% отложений накипи.

2.Ежеквартальное техническое обслуживание должно быть сосредоточено на проверке свойств ультразвуковых вибраторов, с использованием лазерного анализатора зернистости для проверки распределения диаметра распыленных частиц и замены вибраторных компонентов, когда значение D50 отклоняется от заданного значения ±15%. За каждые 500 часов работы монтажная плата подвергается очистке от пыли, а зазор между радиаторами плавников продувается под давлением 0,2 МПа с использованием резервуара для сжатого воздуха.

3. Ежегодный капитальный ремонт должен быть поручен профессиональному органу. Проекты испытаний включают: испытание на сопротивление изоляции (≥50Mомега), испытание на сопротивление заземления (0,1 омега), испытание на однородность дыма (коэффициент вариации CV 5%).

Правила безопасной эксплуатации распылителей чистой воды: элементы предотвращения и контроля рисков:

1.Что касается электрической безопасности, то необходимо строго соблюдать принцип « один аппарат, один шлюз», запрещается совместное использование розеток с другими мощными устройствами. Сопротивление заземления корпуса оборудования должно регулярно проверяться, и при разрыве линии заземления или плохом контакте статическое электричество, создаваемое работой оборудования, может воспламенить водяной туман высокой концентрации (нетоксичный, но с высоким содержанием кислорода).

2. Что касается экологической безопасности, то при использовании полупроводниковых чистых камер необходимо подтвердить, что частицы водяного тумана не загрязняют чувствительные материалы, такие как фоторезисты. Перед тестом необходимо провести эксперимент по совместимости, и через 24 часа после распыления водяного тумана на поверхность образца с помощью микроскопа можно увидеть, есть ли следы коррозии.

3. Что касается эксплуатационной безопасности, то во время работы оборудования запрещается прикасаться к распылительной головке, температура поверхности которой может достигать 60 - 70°С, что может вызвать ожоги при низких температурах. При перемещении устройства необходимо сначала опорожнить резервуар, и инерционный удар 4 литров воды может привести к падению и повреждению хоста. При внезапном снижении дыма требуется немедленная остановка, принудительная работа может привести к разрушению ультразвуковых вибраторов, а брызги керамических фрагментов имеют высокую скорость проникновения.