В производстве полупроводников, контроле окружающей среды в чистой камере и использовании безмасляных компрессоров качество сжатого воздуха напрямую связано с безопасностью производства и хорошей производительностью. Содержание остаточного масла является одним из ключевых показателей качества сжатого воздуха - даже небольшое количество паров масла (например, 0001 мг / м³) может загрязнять прецизионные устройства или вызывать технологические дефекты.Портативный многоканальный детектор качества сжатого воздуха AQ 500M благодаря высокой точности и надежности измерения остатков нефти является основным инструментом для обеспечения чистоты сжатого воздуха.

　　Основные проблемы измерения остатков нефти и решения AQ 500M

Остатки масла в сжатом воздухе в основном включают жидкие капли масла, взвешенные масляные туманы и газообразные масляные пары (например, углеводороды, ароматические агенты), содержание которых должно строго контролироваться в пределах стандарта ISO 8573 (например, уровень 1 требует, чтобы остаточное масло было 0,01 мг / м³). Традиционные методы обнаружения полагаются на оффлайн - отбор проб и лабораторный анализ, существует плохая своевременность, сложная работа и другие проблемы, трудно удовлетворить потребности мониторинга в реальном времени. Модуль измерения остатков нефти OIL CHECK 500, оснащенный AQ 500M, благодаря инновационному методу измерения « вынужденного изменения давления» и высокоточному датчику PID (детектор фотоионизации), обеспечивает прямое и быстрое обнаружение паров газообразных остатков нефти, диапазон измерения охватывает 0001 ~ 5 мг / м³, а нижний предел обнаружения составляет 0001 мг / м³ - точность, достаточная для соответствия строгим стандартам класса 1 ISO 8573 (остаточное масло 0,01 мг / м³) и даже для мониторинга более высокого класса сверхчистого сжатого воздуха.

　　II. Преимущества технологии: синергия точности, гибкости и интеллекта

　　Высокая точность и широкий диапазон:OIL CHECK 500 использует PID - датчик, обладающий высокой избирательностью к углеводородам и другим масляным парам, с помощью алгоритма температурной компенсации и калибровки давления, чтобы обеспечить стабильность результатов измерений при различных давлениях (3 ~ 9 бар) и температурах (+ 20°C ~ + 50°C). Предел обнаружения 0001 мг / м³ позволяет точно улавливать очень небольшое количество остатков масла в сжатом воздухе, избегая технологических рисков, связанных с утечкой.

　　2. Многосценная адаптация:AQ 500M поддерживает портативные, стационарные и мобильные различные конфигурации, мобильная система отбора проб оснащена 2m шлангом PTFE и быстрым соединением без масла и жира, может гибко подключаться к выходу компрессора, задней части фильтра активированного угля и другим ключевым точкам; Модульная конструкция позволяет пользователям выбирать счетчики частиц в соответствии с требованиями (PC 400, обнаружение частиц класса 0,1 мкм), датчики остаточной влажности (DS 400) для достижения многопараметрического синхронного обнаружения остатков масла, частиц, влажности и т.д.

　　Интеллектуальная эксплуатация и обслуживание:Устройства интегрируют аналоговые выходы 4–20 мА с цифровым интерфейсом Modbus RTU для создания визуальных отчетов с помощью программного обеспечения CS Basic Analytics (USB / Ethernet Reading Data); Сенсорный блок поддерживает быструю замену на месте и проверяет производительность с помощью встроенной кнопки функционального тестирования, уменьшая время простоя.

　　III. Применительная ценность: обеспечение качества воздуха в ключевых областях

В производстве полупроводников AQ 500M может в режиме реального времени контролировать количество отработанного масла сжатого воздуха, используемого фотолитографами, травильными машинами и другими устройствами, чтобы избежать загрязнения нефтью, что приводит к короткому замыканию чипа или снижению хорошей скорости; В чистой камере его точное обнаружение гарантирует, что чистота воздуха в вентиляционной системе соответствует стандартам ISO и защищает прецизионные приборы от эрозии масляным туманом; В транспортировке и обслуживании безмасляного компрессора, путем регулярного контроля содержания остатков масла на заднем конце фильтра активированного угля, проверки эффективности фильтрации и своевременной замены расходных материалов, снижения затрат на техническое обслуживание.

AQ 500M обнаруживает измерение остаточного масла качества сжатого воздуха, с « высокой точностью, многосценарийными, интеллектуальными» техническими характеристиками, становится « контроллером» управления остаточным маслом в системе сжатого воздуха, обеспечивает прочную гарантию безопасной эксплуатации передовых производственных и чистых процессов.