Обзор

Во многих полупроводниковых системах сверхчистой воды (UPW, Ultrapure Water) по всему миру электрическое обессоливание (EDI, Electrodeionization) является важным технологическим шагом, необходимым для удаления загрязняющих веществ. Технология EDI использует ионообменные смолы (IX, Ion Exchange), ионно - проницаемые мембраны и высокий потенциал для непрерывного удаления ионных загрязнителей из сверхчистой воды и регенерации доступных смол в модуле EDI. Онлайн - мониторинг воды в режиме реального времени обеспечивает качество сверхчистой воды, правильный контроль напряжения EDI и максимизацию эффективности работы завода. В модуле EDI применяется напряжение, которое создает полярное электрическое поле, которое позволяет ионам проходить через слой обменной смолы и мембрану ионного осмоса. В ионообменном слое модуля EDI смола захватывает ионы и производит сверхчистую воду, которая не содержит ионов, в то время как потенциал продолжает регенерировать доступную смолу. Таким образом, система EDI потребляет много электроэнергии в повседневной работе.

Мониторинг воды EDI в режиме реального времени

Изучая производительность EDI, мы использовали точные онлайновые инструменты мониторинга процесса, чтобы в режиме реального времени показать влияние различных настроек мощности EDI на значения бора, кремния и электропроводности в воде EDI. Исследование показало, что более высокая мощность может более эффективно удалять бор и кремний. Однако, поскольку напряжение EDI способствует образованию ионизированной формы растворенного углекислого газа, напряжение EDI повышает чистую проводимость сверхчистой воды.

Высокая мощность ЭДИ в дополнение к увеличению затрат на энергию также снижает качество сверхчистой воды. Поэтому определение оптимальной мощности системы EDI имеет решающее значение для обеспечения качества сверхчистой воды и снижения эксплуатационных расходов на заводе.

В целом, качество воды EDI зависит от качества питательной воды, эффективности смолы, мощности EDI. С течением времени содержание загрязняющих веществ и эффективность смолы в питательной воде изменяются, поэтому только оптимальное регулирование мощности EDI может поддерживать технологические характеристики и стабильное качество воды. Чтобы правильно контролировать настройки мощности EDI, важно контролировать загрязняющие вещества в воде, выходящей из EDI, что может помочь пользователям достичь оптимальной эффективности с точки зрения потребления энергии и эксплуатационных расходов.

В этом исследовании для отслеживания концентрации ключевых загрязнителей и общего качества сверхчистой воды завод по производству полупроводников постоянно контролировал динамическую концентрацию бора в воде, выходящей из EDI, с помощью онлайн - анализатора бора сверхчистой воды (UPW) Sievers. Данные мониторинга показывают, что мощность ЭДИ положительно коррелирует с чистотой воды, и концентрация загрязняющих веществ может стабилизироваться в течение недели или более после изменения напряжения. Полупроводниковый завод контролирует эффективность удаления загрязняющих веществ и постоянно корректирует мощность EDI с помощью онлайн - мониторинга в режиме реального времени, сводя к минимуму эксплуатационное потребление энергии на заводе.

Сетевой анализатор бора сверхчистой воды (UPW) Sievers Boron Ultra

Сетевой анализатор сверхчистой воды Sievers Boron Ultra является наиболее важной инфраструктурой для управления качеством сверхчистой воды. Этот анализатор обеспечивает функцию обнаружения в режиме реального времени, помогает производственным заводам активно управлять процессом ионообмена, предотвращать инциденты ионного загрязнения, защищать процесс вниз по течению, повышать производство продукции. Этот анализатор использует передовые технологии, которые помогают пользователям принимать более правильные технологические решения для обеспечения оптимального качества воды и эффективности процесса.