Сетевой анализатор бора UPW Sievers Boron Ultra представляет собой новое поколение анализаторов бора сверхчистой воды (UPW, Ultrapure Water), которые обнаруживают концентрацию растворенного бора в одной триллионной части (ppt). Анализатор Boron Ultra является единственным в режиме реального времени онлайновым анализатором бора, который помогает многим производителям микроэлектроники и владельцам систем сверхчистой воды непрерывно контролировать процесс управления бором в соответствии с требованиями Международной дорожной карты устройств и систем (IRDS, International Roadmap for Devices and Systems) в отношении сверхчистой воды (т. е. 50 ppt).

Анализатор Sievers Boron Ultra обнаруживает увеличение бора до высвобождения диоксида кремния и помогает предотвратить утечку диоксида кремния в сверхчистую воду. Этот анализатор может активно обнаруживать диоксид кремния и другие ионные загрязнители, высвобождающиеся в процессе (например, в процессе ионообмена на слое смешанной смолы и в процессе электронной деионизации), что помогает пользователям повысить эффективную производительность и снизить затраты на процесс ионообмена.

В этом документе представлены основные моменты нового Sievers Boron Ultra и сравнение со старым анализатором бора.