Проблемы отрасли

Согласованность производства сверхчистой воды (UPW) имеет решающее значение для производства микроэлектроники и помогает защитить качество продукции. В дополнение к базовому мониторингу сверхчистой воды, микроэлектронные заводы также сталкиваются с проблемами в том, как быстро реагировать на отклонения, а также эффективно выявлять неисправности и управлять процессами. Другие области, вызывающие озабоченность, включают обеспечение чистоты химических веществ для улучшения технологических характеристик и массового производства, а также мониторинг сточных вод и повторной воды.

Производители микроэлектроники сталкиваются с различными органическими загрязнителями при производстве и сталкиваются с различными проблемами, включая:

　　•Низкие концентрации на уровне ppm в питательной воде и высокочистых технологических химикатах

　　•Концентрация на уровне ppt до окончательной полировки

　　•Сложные образцы субстратов для использования в качестве обратной воды и сточных вод

　　•Ключевые потребности в мониторинге вредных частиц, таких как силикон

　　решение

С анализатором общего органического углерода (TOC) Sievers и анализатором бора сверхчистой воды (UPW), компания Verial может предложить аналитические решения, подходящие для каждого этапа процесса производства микроэлектроники. Учитывая широкий спектр аналитических возможностей и многофункциональность применения, анализатор Sievers TOC может использоваться для мониторинга сверхчистой воды, чистоты технологических химикатов, возвратной воды и очистки сточных вод. Поскольку бор просачивается из смоляного слоя до диоксида кремния, анализатор сверхчистой воды Sievers позволяет контролировать диоксид кремния и управлять смоляным слоем, обнаруживая повышенные концентрации бора.

　　Всеобъемлющие и гибкие варианты мониторинга

Существует два метода обнаружения TOC, которые часто используются для мониторинга микроэлектроники с низкой концентрацией: мембранная проводимость (Membrane Conductometric) и прямая проводимость (Direct Conductometric). Продукты Sievers охватывают обе технологии, а также обеспечивают мокрое химическое окисление, подходящее для более сложных матриц, таких как технологические химикаты и сточные воды.

Мы предлагаем следующие приборы и продукты:

　　•Анализаторы Sievers M9e, M500e и 500 RLE TOC используют технологию определения электропроводности мембраны Sievers

• Технология мембранной проводимости Sievers устраняет ложноположительные и ложноотрицательные эффекты, вызванные галогенированными органическими веществами и аминами, присутствующими в большинстве систем сверхчистой воды

　　•Датчики Sievers CheckPointe TOC используют технологию прямого определения электропроводности

　　 ♦Обеспечивает экономичный вариант, подходящий для критических точек мониторинга сверхчистой воды

　　 ♦Инструменты для быстрой диагностики и выявления неисправностей

　　•Анализатор Sievers InnovOx TOC использует технологию обнаружения в нераспределенном инфракрасном диапазоне (NDIR) и сверхкритического окисления воды (SCWO).

　　 ♦Точное и надежное обнаружение следов органических веществ в концентрированных кислотах, щелочных и чистых химических веществах

　　 ♦Можно контролировать сточные воды и до 30% галогенированной воды.

　Требования и решения Sievers

　　Мониторинг систем водоснабжения, сверхчистой воды и обратной воды

Сетевые и портативные анализаторы TOC Sievers M9e предназначены для самых сложных водных систем и приложений. Анализатор имеет диапазон от 0,03 ppb до 50 ppm и использует технологию мембранной проводимости для точного определения концентрации TOC в питательной воде системы, воде обратного осмоса и конечной продуктивной воде. Используя настраиваемый режим Turbo, который занимает всего 4 секунды анализа, анализатор SieversM9e является идеальным инструментом для обнаружения неисправностей, подходящим для обнаружения обратной воды.

В Sievers M9e реализованы:

　　•Соответствие приборов и приборов

　　•Стабильность при обнаружении низких концентраций при использовании сверхчистой воды с низким TOC

　　•Автоматизированные операции, такие как калибровка, проверка и анализ данных

　　•Стабилизация 12 месяцев

　　•Усовершенствованная функция автоматической настройки нуля для точности и точности сверхчистого уровня

　Химические вещества и чистота сточных вод

Для достижения технологических характеристик и оптимизации массового производства важно контролировать TOC в таких технологических химических веществах, как перекись водорода, гидроксид натрия, гидроксид аммония, серная кислота и другие травильные / гальванические химикаты. Анализатор Sievers InnovOx TOC идеально подходит для такого мониторинга, а также для мониторинга органических веществ в сточных водах и обратной воде.

Sievers InnovOx помогает:

• Предприятия принимают более обоснованные решения по соблюдению и обработке

　　•Он обеспечивает прямое обнаружение углерода в реальном времени, в отличие от косвенного обнаружения потребности в кислороде.

　　•Обработка сложных матриц с использованием технологии сверхкритического водяного окисления (SCWO)

Анализаторы Sievers и их применение в производстве микроэлектроники

　　Список литературы

1.Godec, Ричард Д., «Мониторинг и контроль загрязнения органическим азотом UPW для улучшения контроля процесса погружения фотолитографии».Представлено на конференции ULTRAPURE WATER, Портленд, OR, ноябрь 2011 года, издательство Tall Oaks Publishing, Inc.

Godec, Richard D., «Сравнение производительности анализаторов TOC ультрачистой воды с использованием автоматизированного стандартного прибавления. Опубликовано и защищено авторским правом Semiconductor Pure Water and Chemical Conference, 2000 Proceedings.

Данн Р., «Новая аналитическая техника способствует устранению кремния в кормовых, паровых и конденсатных системах».