спектральный эллипсоидЭто высокоточный оптический измерительный прибор, который в основном используется для анализа оптических свойств материала (таких как скорость преломления, коэффициент экстинкции), толщины пленки (от нанометров до микрометров) и микроструктурной информации поверхности / интерфейса. Его основной принцип заключается в использовании поляризованного состояния света после отражения или пропускания на поверхности материала, анализируя физические характеристики этого изменяющегося материала, широко используется в полупроводниках, оптических пленках, наноматериалах, биомедицине и других областях.

Оборудование может работать без контакта, неразрушающих измерений и не разрушать образцы; Толщина измеряется до субнанометрового уровня; Не требует маркировки или предварительной обработки, подходит для нескольких материалов.

Выборспектральный эллипсоидПри этом можно обратить внимание на следующие моменты:

Спектральный диапазон: Выбор подходящего спектрального диапазона в соответствии с оптическими свойствами измеренного материала. Например, прозрачные материалы должны быть сосредоточены на спектральных областях преломления, а коротковолновые абсорбирующие материалы могут быть расширены до прозрачных областей инфракрасного спектра для определения толщины.

2, точность измерений и повторяемость: точность является основным индикатором, необходимо проверить точность с помощью стандартных образцов (например, воздуха); Повторяемость отражает стабильность прибора и требует многократного измерения результатов сравнения.

Способ угла падения: многоугольные измерения повышают надежность, но не все сценарии необходимы. Сложные структуры, такие как многослойные мембраны и поглощающие мембраны, требуют многоугольных измерений, в то время как простые тонкие мембраны с одним углом.

Аналитическое программное обеспечение: эллиптические измерения являются непрямыми измерениями, данные должны соответствовать анализу. Программное обеспечение должно обладать обширной базой данных материалов, гибкими возможностями моделирования и эффективными алгоритмами для поддержки быстрой и точной инверсии параметров.

5, аппаратная конфигурация: в соответствии с требованиями выберите вращающийся компенсатор, автоматическую угловую базу, технологию конвергенции и другое оборудование.