Что такое электронная чистая вода? В современной электронной промышленности, особенно в области производства полупроводников, требования к качеству воды достигли высокого уровня. Электронная чистая вода (Electronic Grade Water) - вода, которая соответствует строгим стандартам чистоты с точки зрения электрического сопротивления, частиц, микроорганизмов, органических веществ, ионов металлов и т.д. Это не только обычная чистая вода, но и важная « кровь» в процессе производства высокотехнологичных продуктов, таких как полупроводники, интегральные схемы и дисплеи.
Почему общее содержание органического углерода (TOC) в чистой воде электронного класса имеет решающее значение? TOC - это показатель общего содержания органических веществ в воде, который отражает общее количество растворенных и взвешенных органических загрязнителей в воде. При производстве электроники даже небольшое количество органических веществ может иметь катастрофические последствия для производительности продукта. Например, органическое вещество может образовывать остатки на поверхности кристаллического круга, что приводит к короткому замыканию схемы, снижению производительности устройства или даже отказу. Кроме того, органические вещества могут стать очагами размножения микроорганизмов, что еще больше загрязняет производственную среду. Поэтому строгий контроль содержания TOC в чистой воде электронного класса является ключом к обеспечению качества и производительности электронных продуктов.
Национальный стандарт электронной чистой воды TOC: жесткие границы
Каковы национальные стандарты TOC для чистой воды? Китай установил строгие национальные стандарты для воды электронного класса, в том числе « вода электронного класса GB / T 11446.1 - 2013 » четко определяет общий стандарт органического углерода TOC для воды электронного класса на разных уровнях. Эти стандарты являются критериями качества, которые должны соблюдаться предприятиями, производящими электронику, и направлены на обеспечение чистоты производственных процессов.
Каковы конкретные требования к различным уровням стандартов TOC? В соответствии с положениями GB / T 11446.1 - 2013 « Вода электронного уровня», вода электронного класса делится на четыре основных уровня по содержанию TOC, и ее конкретные требования заключаются в следующем:
| уровень |
Общий органический углерод TOC стандарт (мкг / л) |
| EW-ЭВ |
20 |
| EW-II |
100 |
| EW-III |
200 |
| EW-IV |
1000 |
Из приведенных выше данных видно, что уровень EW - I является наиболее требовательным к TOC, и его содержание должно контролироваться ниже 20 мкг / л, что в основном используется в таких областях, как производство интегральных схем с самыми высокими требованиями к качеству воды. По мере снижения уровня допустимое содержание TOC постепенно смягчается, чтобы адаптироваться к дифференцированным потребностям в качестве воды в различных производственных цепочках. Эти стандарты не только служат руководством для производства чистой воды на электронном уровне, но и дают четкие количественные цели для тестирования TOC.
Принципы и методы обнаружения TOC: точные количественные средства
Как обнаруживается общий органический углерод (TOC)? В основе испытаний TOC лежит преобразование органического углерода из воды в измеримый углекислыйгаз. В соответствии с национальным стандартом GB / T 11446.8 - 2013 « Метод тестирования общего органического углерода в воде на электронном уровне», широко используемым методом является метод окисления - нераспределенного инфракрасного излучения. Этот метод позволяет при определенных условиях (например, при нагревании или ультрафиолетовом облучении) разложить все органические вещества в воде на двуокись углерода (CO2b) путем добавления окислителей, таких как сульфаты, в пробы воды. В то же время неорганический углерод в воде (например, карбонаты и гидрокарбонаты) также подкисляется и превращается в углекислыйгаз. Чтобы отличить органический углерод от неорганического углерода, обычно сначала измеряется общий углерод (TC), а затем измеряется неразорвавшийся органический углерод (NPOC) после удаления неорганического углерода путем подкисления или вычисляется методом дифференциального вычитания: TOC = TC - IC (общий неорганический углерод). В конечном счете, образующийся углекислыйгаз обнаруживается с помощью анализатора в нераспределенной инфракрасной области спектра (NDIR), который выводит содержание TOC в пробах воды на основе его концентрации.
Каковы распространенные методы тестирования TOC? В дополнение к вышеупомянутому оксидно - нераспределенному инфракрасному методу, методы обнаружения TOC также включают высокотемпературное окисление горения, ультрафиолетовое фотоокисление и так далее. Метод высокотемпературного окисления при сжигании состоит в том, чтобы вводить образцы воды в высокотемпературную печь (обычно выше 900°C), что позволяет органике быстро окисляться до углекислого газа. Закон ультрафиолетового фотоокисления использует фотохимические эффекты ультрафиолетового излучения для окисления органических веществ без добавления химических реагентов. Выбор метода обнаружения часто зависит от характеристик проб воды, требований к точности обнаружения и функций прибора. Например, онлайн - анализаторы TOC обычно используют ультрафиолетовую фотокаталитическую окисленную технологию в сочетании с прецизионными микромодулями автоматического ввода проб для обеспечения эффективного непрерывного мониторинга без внешнего добавления катализатора или переноса газа.
Аналитический прибор для анализа содержания микроорганического углерода в воде (TOC) представляет собой высокочувствительное контрольно - измерительное оборудование для точного определения общего количества органических загрязнителей в воде. Сианьская экологическая и технологическая группа.Анализатор TOC ERUN - SP3 - J3Предназначен для сценария сверхчистой воды с концентрацией TOC менее 1 ppm (т. е. 1000 мкг / л), предел обнаружения до 1 ppb (0,1 мкг / л), может одновременно обнаруживать общий органический углерод (TOC), общий неорганический углерод (TC), общий неорганический углерод (TIC) и нераздуваемый органический углерод (NPOC), широко используется в фармацевтической воде, электрической подсистеме чистой воды, контроле качества лабораторной и бытовой питьевой воды.

Что такое электронный контроль чистой воды? Строгий контроль TOC - это не только выполнение требований национальных стандартов и отраслевых норм, но и необходимый выбор для обеспечения качества электронных продуктов, повышения эффективности производства и снижения производственных затрат. По мере того, как электроника становится все более интегрированной, ширина линии становится все меньше и меньше, а требования к качеству воды будут только более жесткими, точность управления TOC также станет важным показателем технического уровня предприятия.