1. Предисловие:

Фотолитография является ключевым процессом в производстве интегральных схем (IC), на которые приходится 40% процесса производства чипов -

50% времени. В процессе фотолитографии требуется не только фоторезист, но и ключевой материал - фоторезист. Фоторезист является одним из наиболее важных материалов в полупроводниковой промышленности, и на протяжении всего процесса производства интегральных схем фотолитография составляет около 35% от общей стоимости производства чипов и является основным процессом в производстве полупроводников.

Фоторезист представляет собой сложную смесь, состоящую в основном из органических растворителей, полимерных смол, фотокислот (PAG), вспомогательных веществ. Среди них фотокислотный агент является ключевым компонентом фоторезиста и играет решающую роль в чувствительности и разрешении фоторезиста. Чистота фотокислот и контроль примесей оказывают значительное влияние на качество фоторезиста и полупроводниковых продуктов в целом. Фотокислоты обычно состоят из катионной части трифенила серы и анионной части корня полифторсульфоновой кислоты, в то время как анионная часть в основном не поглощается ультрафиолетовым излучением, электротуманный детектор (CAD) не зависит от оптической активности соединения и может быть идеальным детектором для контроля качества фотокислоты.

В настоящем приложении в качестве примера приводится корень трифторбутилсульфоновой кислоты для изучения возможности контроля качества фотокислот САПР.

Детектор электрического распыления (Charged aerosol detector, CAD) - это новый тип детектора универсального типа, разработанный в последние годы, который не имеет ничего общего с молекулярной структурой испытуемого вещества и не нуждается в ионизации. В то же время,

CAD - это чувствительный к качеству детектор, величина отклика которого определяется абсолютной массой исследуемого образца, при условии, что абсолютная масса исследуемого образца является одинаковой, измеренные значения отклика в основном одинаковы и могут достигать более низких пределов обнаружения и более высокой чувствительности.

Электротуманный детектор (CAD) является крупным научно - техническим достижением, достигнутым англо - майской командой разработчиков приборов после многих лет кропотливых исследований и повторных экспериментов. Этот детектор использует передовые технологии электрического и распыления для достижения высокой чувствительности и высокой точности обнаружения микрообразцов.

2. Приборы и материалы:

Инструмент: Agilent1200 жидкостно - фазный хроматограф + CAD детектор (Ingmai Instrument, модель: CADetector a1)

Реактор: чистая вода (дистиллированная вода Цюйтена), ацетонитрил (чистая хроматография), образец муравьиной кислоты (чистая аналитическая): трифенилкарбонат трифторбутилсульфоната.

3 Методы и результаты:

3.1 Условия хроматографии:

Колонна хроматографии: InfinityLab Poroshell 120 EC - C18 Столбная температура: 55°C Скорость потока: 0,4 мл / мин Образец: 5 мкл

Текущая фаза А: 0.2% Водный раствор муравьиной кислоты Текущая фаза В: ацетонитрил

Градиентная стирка

Условия CAD:

Модель прибора: Ин - Майский прибор CADetector a1 Температура дрейфующей трубки: 40°C Воздушный поток распыления: 3L / min Полярный ток: 1 мкА Полярный поток: 1L / min

3.2 Подготовка образцов:

Разбавитель: метанол, метанол - вода (1: 1) для получения исходного раствора трифенилкарбоната трифторбутилсульфоната 2000 мкг / мл, растворенного в чистом растворе метанола. Используйте раствор метанол - вода (1: 1) для поэтапного разбавления материнской жидкости, приготовленной в концентрации 1, 2, 5, 10, соответственно

Серия растворов 100 и 1000 мкг / мл.

3.3 Результаты экспериментов:

3.3.1 Применимость методологии

В условиях этого метода время удержания ионов инь и ян подходит, степень разделения, пик и пиковая реакция хороши

3.3.2 Чувствительность метода

1 мкг / мл образец, 5 мкл; Трифенил серы хорошо реагирует, отношение сигнала к шуму 1097,4 (метод ASTM); Корень трифторбутилсульфоната хорошо реагирует, отношение сигнала к шуму 122,9 (метод ASTM)

3.3.3 Повторяемость

Последовательное повторение 6 игл, площадь пика трифенила серы RSD% 0.880; Площадь пика трифторбутилсульфоната

RSD% составляет 1.222%, все меньше 2,0%, что указывает на хорошую повторяемость метода.

3.3.4 Линейные

Концентрация 1 ~ 1000 мкг / мл, коэффициент корреляции серы трифенила R 099995; Коэффициент корреляции корней трифторбутилсульфоната R составляет 099976, что является хорошим линейным показателем и широким линейным диапазоном.

4.Экспериментальные выводы:

В этой статье используется метод HPLC - CAD для анализа анионов в образцах фотокислот. Программа имеет высокую чувствительность, хорошее разделение ионов и повторяемость, широкий линейный диапазон и может использоваться в качестве метода оценки фотокислотных агентов.

Метод HPLC - CAD прост в эксплуатации, имеет сильные специализированные свойства и высокую чувствительность и может использоваться в качестве контроля качества и методологической оценки фотокислотных агентов.