Прозрачный оксид алюминия (Аль-О?Осаждение пленки, необходимо решить основные проблемы, такие как высокотемпературное испарение, управление реакцией окисления, однородность намотки. Ниже приводятся конкретные программы осуществления и ключевые технические элементы:

1. Технологическое проектирование

(1)Выбор источника испарения

Окончательный выбор:
Электронное испарение+Вспомогательные плазменные реакции (ПАРПри испарении алюминия включается кислород, возбуждается плазмой (РФ 13,56 МГцСодействие образованию оксида алюминия.

(2)Настройка системы покрытия

2. Оптимизация ключевых технологических параметров

(1)Управление испарением

Скорость испарения алюминия:0,5-2 нм/с(Электрический ток через электронный луч6-10кВ/100-300мАСогласование)

Раздельное давление кислорода:2×10? 2 - 5×10? 2 Па(Слишком высокая скорость приводит к снижению, а слишком низкая - к недостаточному окислению)

Температура фундамента:80 - 150°C (гибкий полимерный материал требуется< 120℃）

(2)Поддержка плазмы

(3)Параметры системы намотки

Скорость рулона:0,1-1 м/мин(Соответствующая толщина мембраны50-500нм)

Управление натяжением:10-20Н(Избегать деформации фундамента)

Температура охлаждающего ролика:15 - 25°C (предотвращение накопления тепла)

3. Регулирование мембранных свойств

(1)Оптическая оптимизация

Контроль коэффициента преломления:1.62 - 1.67(регулируется соотношением кислорода и алюминия)

Метод: Онлайн - оптический мониторинг (550 нмПропускная способность> 85%)

Коэффициент экстинкции:< 0.001(Избегать остатков металлического алюминия)

(2)Механическое улучшение

Твердость:> 8 ГПА(Осаждение с помощью ионного пучка)

Присоединение: черезАрПредварительная обработка плазмы (50 Вт, 60-х) ПослатьПЭТЭнергия поверхности фундамента>50 МН/м

(3)Повышение барьерных свойств

Пропускная способность (ВВТР* * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * *<10? 3 г/м2/день(Требуется толщина мембраны> 100 нмИ без иголок)

Метод обнаружения: кальциевый тест (85℃/ 85%RH)

4. Типичный случай применения

(1)Гибкая электронная упаковка

Потребности: вПЭТБазовый материал (толщина)125 мкм) Покрытие300 нм Аль? О?Блокирующий слой

Процесс:

Электронное испарение алюминия (скорость)1,2 нм/с)

Поток кислорода20 смА,РФмощность200 Вт

Скорость вращения0,3 м/минНапряжение15Н

Результаты:

Пропускная способность видимого света88%

ВВТР 5×10?? г/м2/день

(2)Фотоэлектрическая задняя панель

Задача: Избегать трещин в мембране во время намотки

решение:

Использовать сегментное осаждение (на циклическое покрытие)50 нмИнтервальное охлаждение10-х)

добавитьСио?Переходный слой (толщина)10 нмСнижение внутреннего напряжения

5. Часто задаваемые вопросы и ответные меры

6. Направления технической модернизации

(1)Синергия с несколькими источниками испарения

Аль+МгСовокупное испарение: подготовкаМгСмешиваниеАль-О?Повышение диэлектрических свойств.

Технология динамических перегородок: достижение градиента толщины поперечной мембраны (для оптических фильтров)

(2)Интеллектуальное управление

Оптимизация машинного обучения:

Входные данные: скорость испарения, давление кислорода, скорость пропускания в реальном времени

Выход: автоматическое регулированиеРФМощностьПИДпараметр

Цифровые двойники:ANSYSМоделирование тепла в процессе намотки-эффект связи сил

(3)Экологические процессы

Система рекуперации алюминия: конденсатор собирает нерассмотренный алюминий, коэффициент рекуперации> 90%

Конструкция с низким энергопотреблением: использование импульсной плазмы (коэффициент заполнения)30%) Снижение40%Потребление энергии

Выводы:

Для достижения высококачественной прозрачной оксидноалюминиевой пленки на вакуумном испарительном покрытии с намоткой необходимо сосредоточиться на контроле адекватности реакции окисления и динамической стабильности намотки. Благодаря электронно - лучевому испарению в сочетании с плазменной поддержкой на гибкой основе может быть получена пленка с высокой светопроницаемостью и отличными барьерными свойствами. Будущие направления развития включают:
① Повышение однородности площадей (ширина)> 2 м);
Б Сверхтонкие непрерывные осадки (<10 нмБез иголок);
Б С другими функциональными мембранами (например,Сио?АИТО) Онлайн - композитные осадки.