в高真空В окружающей среде при нагревании сопротивлением или бомбардировке электронным лучомПокрытый материал (источник испарения)Газификация, конденсация пара на поверхности фундамента образует пленку,Термическое испарение, электронно - лучевое испарение, вакуумное покрытие, пленочное осаждение, PVD、 Плазменный материал