Плазменный плесеномер является обновленной версией технологии магнитного распыления, которая значительно улучшает характеристики пленки за счет повышения плотности плазмы и скорости ионизации. Основные процессы включают:

• Плазменное усиление: использование радиочастот (RF), импульсных источников питания или высокомощного импульсного магнитного распыления (HiPIMS) для получения плазмы высокой плотности, которая ионизирует больше распыленных частиц в ионы.

• Ионное вспомогательное осаждение: высокоэнергетические ионы бомбардируют подложку, повышая плотность пленки, адгезию и уменьшая дефекты.