четырехцелевой прибор для покрытия методом магнитного распыления

Магнитное распыление фазы по сравнению с обычным плазменным распылением имеет преимущества высокой скорости энергии, высокой скорости покрытия, низкого повышения температуры образца, является типичным высокоскоростным низкотемпературным распылением. Магнитная мишень оснащена прослойкой с водяным охлаждением, машина с водяным охлаждением может эффективно забирать тепло, чтобы избежать накопления тепла на мишени, так что магнитное покрытие может работать в течение длительного времени