В последние годы неохлажденные инфракрасные детекторы фокальной плоскости привлекают внимание благодаря своим * характеристикам. С его широким применением требования к характеристикам детекторов фокальной плоскости в неохлажденном инфракрасном диапазоне также постоянно совершенствуются во всех областях. Вдохновленные внешним спросом, неохлажденные инфракрасные детекторы претерпели бесчисленные улучшения и улучшения производительности от рождения несколько десятилетий назад до широкого применения в настоящее время. В то же время низкие требования к исследованиям детекторов делают стоимость упаковки детекторов также фактором, который необходимо учитывать. Таким образом, тест на отбор перед упаковкой стал горячей точкой для исследований. Основываясь на исследованиях, начатых в этой горячей точке, эта статья предлагает набор программ автоматического тестирования инфракрасных детекторов на основе вакуумных зондовых станций после анализа отечественных и зарубежных разработок технологии тестирования неохлажденных инфракрасных детекторов фокальной плоскости и динамики исследований. Автоматизированная тестовая система проверяет параметры чипа неохлажденного инфракрасного детектора и завершает тест скорости отклика чипа в условиях высокого вакуума, тем самым оценивая производительность чипа и обеспечивая основу для выбора чипа для упаковки чипа неохлажденного инфракрасного детектора. Основные исследования в этом документе включают три аспекта.

(1) Конструкция аппаратных тестовых схем: эта часть в основном обеспечивает приводное напряжение и возбуждение временных рядов для тестирования чипа, в то же время завершает сбор и обработку сигналов напряжения в ответ на изображение, в то время как часть сбора данных спроектирована с однополюсной дифференциальной сетью, устраняющей шум симулятора, но также может улучшить приводную способность аналогового сигнала напряжения.

(2) Дизайн карты зонда вакуумного зондового стола: для различных массивных чипов детектора в этой статье спроектирована соответствующая тестовая карта зонда, в то время как схема генерации смещения напряжения непосредственно интегрируется в тестовую карту зонда, смещение напряжения может быть смещено зондом непосредственно на стержень, чтобы избежать помех при передаче аналогового сигнала.

(3) Реализация автоматического управления тестовой системой: Эта конструкция основана на платформе разработки VC + +, которая управляет вакуумным зондовым столом и модулем тестовой схемы на основе FPGA с помощью протокола RS232 и использует Matlab для обработки и анализа тестовых данных, что в конечном итоге приводит к автоматическому тестированию чипов серий 320 × 240 и 384 × 288. Автоматизированная тестовая система обеспечивает автоматическое тестирование кристаллов и монолитных чипов неохлажденного инфракрасного детектора, завершает оценку общей производительности измеренного чипа с помощью соответствующих параметров, таких как скорость отклика и шум, и представляет результаты испытаний в виде отчета об испытаниях и wafermap. Результаты этого теста служат важной основой для отбора чипов перед инкапсуляцией, что значительно сокращает время тестирования и затраты на инкапсуляцию инфракрасных детекторов.